[實(shí)用新型]一種柔性高效PECVD特氣槽有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821377476.7 | 申請日： | 2018-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN208748195U | 公開（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 范志東;王峰;吳翠平;楊瑞臣;耿小丕 | 申請（專利權(quán)）人： | 承德石油高等專科學(xué)校 |
| 主分類號： | C23C16/513 | 分類號： | C23C16/513;C23C16/455;C23C16/34 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 067000 河北省*** | 國省代碼： | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 滾軸 金屬薄片 特氣孔 特氣 反應(yīng)腔室 右倉 左倉 本實(shí)用新型 氣路 纏繞 | ||
1.一種柔性高效PECVD特氣槽，包括左倉室、右倉室，其特征在于：所述左倉室內(nèi)設(shè)有左滾軸，所述右倉室內(nèi)設(shè)有右滾軸，所述左滾軸以及所述右滾軸之間纏繞著金屬薄片，所述金屬薄片圍繞在反應(yīng)腔室的外側(cè)，所述金屬薄片上設(shè)有特氣孔，所述特氣孔與所述反應(yīng)腔室上的特氣孔氣路對應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種柔性高效PECVD特氣槽，其特征在與：所述反應(yīng)腔室的截面為梯形。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種柔性高效PECVD特氣槽，其特征在與：所述金屬薄片的外側(cè)還設(shè)有兩個(gè)以上滾輪。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種柔性高效PECVD特氣槽，其特征在與：所述反應(yīng)腔室的上底面由所述金屬薄片通過卡子連接形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種柔性高效PECVD特氣槽，其特征在與：所述卡子包括卡子本體以及固定裝置，所述卡子本體內(nèi)設(shè)有上下兩層的滾珠。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種柔性高效PECVD特氣槽，其特征在與：所述反應(yīng)腔室的上底面的所述金屬薄片的上方設(shè)有磁性塊。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種柔性高效PECVD特氣槽，其特征在與：所述金屬薄片為柔性金屬薄片。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的一種柔性高效PECVD特氣槽，其特征在與，所述左滾軸或所述右滾軸與電機(jī)連接。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于承德石油高等專科學(xué)校，未經(jīng)承德石油高等專科學(xué)校許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201821377476.7/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機(jī)材料為特征的
