[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體超潔凈清洗臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821370230.7
• 申請(qǐng)日: 2018-08-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208772043U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山世清
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇晶睿光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B5/02
• 分類(lèi)號(hào): B08B5/02;B08B15/04;A61L2/10
• 代理公司: 北京一格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11316
• 代理人: 高利利

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體超潔凈清洗臺(tái)，其特征在于：包括支撐架、清潔艙、半導(dǎo)體夾持架、脈沖機(jī)構(gòu)和紫外線(xiàn)殺菌燈；本實(shí)用新型中通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的半導(dǎo)體夾持架旋轉(zhuǎn)，通過(guò)脈沖閥的控制在對(duì)準(zhǔn)半導(dǎo)體夾持架的脈沖管上產(chǎn)生脈沖，產(chǎn)生的脈沖能對(duì)旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的半導(dǎo)體夾持架進(jìn)行除塵，掉落的灰塵通過(guò)負(fù)壓排風(fēng)口的負(fù)壓風(fēng)機(jī)吸出清潔艙；此外，在清潔艙內(nèi)設(shè)置紫外線(xiàn)殺菌燈，能夠消毒殺菌，從而提供良好的工作環(huán)境。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體清潔臺(tái)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體超潔凈清洗臺(tái)。

背景技術(shù)

目前，隨著經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，生產(chǎn)技術(shù)也得到一定的提高，并伴隨著技術(shù)的增長(zhǎng)，超凈工作臺(tái)是為了適應(yīng)現(xiàn)代化工業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)、生物制藥以及科研試驗(yàn)等領(lǐng)域?qū)植抗ぷ鲄^(qū)域潔凈度的需求而設(shè)計(jì)的，通過(guò)潔凈空氣將塵埃顆粒和生物顆粒帶走，以形成無(wú)菌的高潔凈的工作環(huán)境，但是現(xiàn)有的超潔凈工作臺(tái)，往往只除塵，或者除塵效果較差，同時(shí)設(shè)備的整體設(shè)計(jì)不利于使用人員操作。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種導(dǎo)體超潔凈清洗臺(tái)，采用的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，造型美觀(guān)，實(shí)用性好，能夠很好的在除去灰塵的同時(shí)殺菌消毒，增加了便利性，本實(shí)用新型簡(jiǎn)單合理，實(shí)用性好，具備多功能。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：一種半導(dǎo)體超潔凈清洗臺(tái)，其創(chuàng)新點(diǎn)在于：包括支撐架、清潔艙、半導(dǎo)體夾持架、脈沖機(jī)構(gòu)和紫外線(xiàn)殺菌燈；

所述支撐架呈長(zhǎng)方體框架結(jié)構(gòu)，清潔艙設(shè)置在支撐架上；所述清潔艙的一側(cè)面開(kāi)有進(jìn)風(fēng)口，底端面上開(kāi)有負(fù)壓排風(fēng)口；所述進(jìn)風(fēng)口上設(shè)置有清潔氣源；所述半導(dǎo)體夾持架設(shè)置在清潔艙內(nèi)且半導(dǎo)體夾持架的兩端設(shè)置有回轉(zhuǎn)軸，所述半導(dǎo)體夾持架的兩端通過(guò)回轉(zhuǎn)軸承連接在清潔艙的側(cè)壁上，所述半導(dǎo)體夾持架的回轉(zhuǎn)軸延伸至清潔艙的外側(cè)，所述清潔艙的外側(cè)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體夾持架旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)且驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端連接有減速器；

所述脈沖機(jī)構(gòu)包括氣包和脈沖管；所述氣包通過(guò)支撐板水平設(shè)置在清潔艙的頂端，所述氣包的一側(cè)邊連接有清潔的脈沖氣源，氣包的另一側(cè)水平設(shè)置有出氣口且出氣口處設(shè)置有脈沖閥；所述脈沖管至少具有兩個(gè)且脈沖管的一端連接在氣包的出氣口上，脈沖管的另一端延伸至清潔艙內(nèi)；所述脈沖管上設(shè)置有若干對(duì)準(zhǔn)半導(dǎo)體夾持架的脈沖口；所述紫外線(xiàn)殺菌燈設(shè)置在清潔艙的內(nèi)臂上。

進(jìn)一步的，所述半導(dǎo)體夾持架為板狀結(jié)構(gòu)，半導(dǎo)體夾持架上設(shè)置有半導(dǎo)體卡槽且半導(dǎo)體從側(cè)邊嵌入到卡槽內(nèi)。

進(jìn)一步的，所述負(fù)壓排風(fēng)口處設(shè)置有負(fù)壓風(fēng)機(jī)。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

1）本實(shí)用新型中通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的半導(dǎo)體夾持架旋轉(zhuǎn)，通過(guò)脈沖閥的控制在對(duì)準(zhǔn)半導(dǎo)體夾持架的脈沖管上產(chǎn)生脈沖，產(chǎn)生的脈沖能對(duì)旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的半導(dǎo)體夾持架進(jìn)行除塵，掉落的灰塵通過(guò)負(fù)壓排風(fēng)口的負(fù)壓風(fēng)機(jī)吸出清潔艙；此外，在清潔艙內(nèi)設(shè)置紫外線(xiàn)殺菌燈，能夠消毒殺菌，從而提供良好的工作環(huán)境。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

圖1為本實(shí)用新型的一種半導(dǎo)體超潔凈清洗臺(tái)的主視圖。

具體實(shí)施方式

下面的實(shí)施例可以使本專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員更全面地理解本實(shí)用新型，但并不因此將本實(shí)用新型限制在所述的實(shí)施例范圍之中。

如圖1所示的一種半導(dǎo)體超潔凈清洗臺(tái)，包括支撐架１、清潔艙２、半導(dǎo)體夾持架３、脈沖機(jī)構(gòu)４和紫外線(xiàn)殺菌燈５。