[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體超潔凈清洗臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821370230.7
• 申請(qǐng)日: 2018-08-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208772043U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山世清
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇晶睿光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B5/02
• 分類(lèi)號(hào): B08B5/02;B08B15/04;A61L2/10
• 代理公司: 北京一格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11316
• 代理人: 高利利

1.一種半導(dǎo)體超潔凈清洗臺(tái)，其特征在于：包括支撐架、清潔艙、半導(dǎo)體夾持架、脈沖機(jī)構(gòu)和紫外線(xiàn)殺菌燈；

所述支撐架呈長(zhǎng)方體框架結(jié)構(gòu)，清潔艙設(shè)置在支撐架上；所述清潔艙的一側(cè)面開(kāi)有進(jìn)風(fēng)口，底端面上開(kāi)有負(fù)壓排風(fēng)口；所述進(jìn)風(fēng)口上設(shè)置有清潔氣源；所述半導(dǎo)體夾持架設(shè)置在清潔艙內(nèi)且半導(dǎo)體夾持架的兩端設(shè)置有回轉(zhuǎn)軸，所述半導(dǎo)體夾持架的兩端通過(guò)回轉(zhuǎn)軸承連接在清潔艙的側(cè)壁上，所述半導(dǎo)體夾持架的回轉(zhuǎn)軸延伸至清潔艙的外側(cè)，所述清潔艙的外側(cè)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體夾持架旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)且驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端連接有減速器；

所述脈沖機(jī)構(gòu)包括氣包和脈沖管；所述氣包通過(guò)支撐板水平設(shè)置在清潔艙的頂端，所述氣包的一側(cè)邊連接有清潔的脈沖氣源，氣包的另一側(cè)水平設(shè)置有出氣口且出氣口處設(shè)置有脈沖閥；所述脈沖管至少具有兩個(gè)且脈沖管的一端連接在氣包的出氣口上，脈沖管的另一端延伸至清潔艙內(nèi)；所述脈沖管上設(shè)置有若干對(duì)準(zhǔn)半導(dǎo)體夾持架的脈沖口；所述紫外線(xiàn)殺菌燈設(shè)置在清潔艙的內(nèi)臂上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體超潔凈清洗臺(tái)，其特征在于：所述半導(dǎo)體夾持架為板狀結(jié)構(gòu)，半導(dǎo)體夾持架上設(shè)置有半導(dǎo)體卡槽且半導(dǎo)體從側(cè)邊嵌入到卡槽內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體超潔凈清洗臺(tái)，其特征在于：所述負(fù)壓排風(fēng)口處設(shè)置有負(fù)壓風(fēng)機(jī)。