[實用新型]一種導軌柱及真空腔體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821368104.8
• 申請日: 2018-08-23
• 公開（公告）號: CN208701202U
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發(fā)明（設計）人: 王光華;王旭
• 申請（專利權）人: 赫得納米科技(昆山)有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 楊志廷

本實用新型提供一種導軌柱及真空腔體，涉及真空技術領域。導軌柱用于真空鍍膜設備，其包括固定件和限位件，固定件固定安裝于真空鍍膜設備的真空腔體內，限位件可拆卸地安裝于固定件。真空腔體包括上述導軌柱。本導軌柱能夠避免補焊干涉，本真空腔體能夠降低補焊難度，提高補焊質量。

技術領域

本實用新型涉及真空技術領域，具體而言，涉及一種導軌柱及真空腔體。

背景技術

真空鍍膜過程中，抽、破真空會造成腔體的微弱形變，腔體焊縫處的反復形變易導致“疲勞開裂”，此時需對開裂處進行補焊。為了充分利用腔體空間，導軌柱一般直接焊接在靠近腔體內側面的位置，導軌柱高度接近于腔體內空間高度。該位置接近腔體焊縫，會對補焊造成干涉影響，增加補焊難度，降低補焊質量。

實用新型內容

本實用新型的目的包括提供一種導軌柱，其能夠避免補焊干涉。

本實用新型的另一目的包括提供一種真空腔體，其能夠降低補焊難度，提高補焊質量。

本實用新型的實施例是這樣實現(xiàn)的：

一種導軌柱，用于真空鍍膜設備，其包括固定件和限位件，固定件固定安裝于真空鍍膜設備的真空腔體內，限位件可拆卸地安裝于固定件。

進一步地，上述固定件和限位件螺紋連接。

進一步地，上述固定件設置有第一螺紋部，限位件設置有與第一螺紋部配合的第二螺紋部，第一螺紋部和第二螺紋部兩者中的一個為螺柱，另一個為螺孔。

進一步地，上述第一螺紋部為螺孔，第二螺紋部為螺柱。

進一步地，上述第一螺紋部為螺柱，第二螺紋部為螺孔。

進一步地，上述固定件設置有第一卡接部，限位件設置有與第一卡接部配合的第二卡接部，第一卡接部和第二卡接部兩者中的一個為凸臺，另一個為凹槽。

進一步地，上述第一卡接部為凹槽，第二卡接部為凸臺。

進一步地，上述第一卡接部為凸臺，第二卡接部為凹槽。

一種真空腔體，其包括上述導軌柱。

進一步地，上述真空腔體還包括外殼、載盤及傳輸滾輪；載盤、傳輸滾輪、導軌柱均設置于外殼內，傳輸滾輪設置于載盤底部，多個導軌柱分別位于載盤兩側，導軌柱用于限制載盤的移動方向。

本實用新型實施例的有益效果包括：本導軌柱用于真空鍍膜設備，其包括固定件和限位件，固定件固定安裝于真空鍍膜設備的真空腔體內，限位件可拆卸地安裝于固定件。本真空腔體包括上述導軌柱。本導軌柱采用可拆卸的結構，能夠避免補焊干涉，本真空腔體能夠降低補焊難度，提高補焊質量。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本實用新型的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關的附圖。

圖1為本實用新型第一實施例中導軌柱的裝配示意圖；

圖2為本實用新型第一實施例中另一形式導軌柱的裝配示意圖；

圖3為本實用新型第二實施例中導軌柱的裝配示意圖；

圖4為本實用新型第二實施例中另一形式導軌柱的裝配示意圖；

圖5為本實用新型第三實施例中真空腔體正常工作時的結構示意圖；

圖6為本實用新型第三實施例中真空腔體補焊時的結構示意圖。