[實用新型]一種導軌柱及真空腔體有效
| 申請號： | 201821368104.8 | 申請日： | 2018-08-23 |
| 公開（公告）號： | CN208701202U | 公開（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發明（設計）人： | 王光華;王旭 | 申請（專利權）人： | 赫得納米科技(昆山)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 楊志廷 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 導軌柱 真空腔體 固定件 補焊 真空鍍膜設備 限位件 真空技術領域 本實用新型 可拆卸 真空腔 體內 干涉 | ||
1.一種導軌柱，用于真空鍍膜設備，其特征在于，包括固定件和限位件，所述固定件固定安裝于所述真空鍍膜設備的真空腔體內，所述限位件可拆卸地安裝于所述固定件。
2.根據權利要求1所述的導軌柱，其特征在于，所述固定件和所述限位件螺紋連接。
3.根據權利要求1所述的導軌柱，其特征在于，所述固定件設置有第一螺紋部，所述限位件設置有與所述第一螺紋部配合的第二螺紋部，所述第一螺紋部和所述第二螺紋部兩者中的一個為螺柱，另一個為螺孔。
4.根據權利要求3所述的導軌柱，其特征在于，所述第一螺紋部為所述螺孔，所述第二螺紋部為所述螺柱。
5.根據權利要求3所述的導軌柱，其特征在于，所述第一螺紋部為所述螺柱，所述第二螺紋部為所述螺孔。
6.根據權利要求1所述的導軌柱，其特征在于，所述固定件設置有第一卡接部，所述限位件設置有與所述第一卡接部配合的第二卡接部，所述第一卡接部和所述第二卡接部兩者中的一個為凸臺，另一個為凹槽。
7.根據權利要求6所述的導軌柱，其特征在于，所述第一卡接部為所述凹槽，所述第二卡接部為所述凸臺。
8.根據權利要求7所述的導軌柱，其特征在于，所述第一卡接部為所述凸臺，所述第二卡接部為所述凹槽。
9.一種真空腔體，其特征在于，包括權利要求1－8中任意一項所述的導軌柱。
10.根據權利要求9所述的真空腔體，其特征在于，還包括外殼、載盤及傳輸滾輪；所述載盤、所述傳輸滾輪、所述導軌柱均設置于所述外殼內，所述傳輸滾輪設置于所述載盤底部，多個所述導軌柱分別位于所述載盤兩側，所述導軌柱用于限制所述載盤的移動方向。
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