[實用新型]一種單晶硅片切割裝置

有效

• 申請號: 201821360588.1
• 申請日: 2018-08-22
• 公開（公告）號: CN209616060U
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 陳峰
• 申請（專利權）人: 浙江眾晶電子有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所 53113
• 代理人: 錢磊

1.一種單晶硅片切割裝置，包括切割裝置，其特征在于，所述切割裝置包括數個切割盤，切割盤的中心設有圓形通孔，切割盤包括兩個對稱設置的分體盤，兩個分體盤之間設有兩個上下對稱設置的切割刀片，切割刀片遠離切割盤中心的一側固連推桿的一端，推桿的另一端固連連接座；切割裝置的兩側分別設有一個機座，機座的中心設有空心軸，空心軸與機座之間固定連接，空心軸通過軸承安裝于底座上；機座的頂部和底部對稱設置有一個氣缸，氣缸的伸縮桿通過L型連接塊連接連接座。

2.根據權利要求1所述的一種單晶硅片切割裝置，其特征在于，所述切割裝置右側的空心軸上設有從動帶輪，該從動帶輪通過皮帶連接主動帶輪，主動帶輪安裝于電機的輸出軸上。

3.根據權利要求1所述的一種單晶硅片切割裝置，其特征在于，所述數個切割盤左右方向依次設置，相鄰的切割盤之間固連。

4.根據權利要求1所述的一種單晶硅片切割裝置，其特征在于，所述切割盤中心的圓形通孔與硅棒間隙配合。

5.根據權利要求1所述的一種單晶硅片切割裝置，其特征在于，所述兩個分體盤固連。

6.根據權利要求1所述的一種單晶硅片切割裝置，其特征在于，所述數個切割盤上部的推桿連接同一個連接座，下部的推桿連接同一個連接座。

7.根據權利要求1所述的一種單晶硅片切割裝置，其特征在于，所述切割盤上設有與切割刀片配合的滑槽。

8.根據權利要求1所述的一種單晶硅片切割裝置，其特征在于，所述氣缸的進氣口和排氣口分別連接進氣管和排氣管，兩個氣缸的進氣管連接空心軸中心的進氣總管，排氣管連接空心軸中心的排氣總管，進氣總管通過旋轉接頭連接供氣管，排氣總管通過旋轉接頭連接排空管。

9.根據權利要求1所述的一種單晶硅片切割裝置，其特征在于，所述空心軸的兩側分別設有一個壓料氣缸，壓料氣缸的伸縮桿的靠近切割機構的一端固連壓料塊。