[實用新型]一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置

有效

• 申請號: 201821360040.7
• 申請日: 2018-08-22
• 公開（公告）號: CN208938929U
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 陳峰
• 申請（專利權）人: 浙江眾晶電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所 53113
• 代理人: 錢磊

本實用新型公開了一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置，包括清洗槽，所述清洗槽內設有清洗支架，清洗支架包括筒體，筒體表面開有數個均勻分布的小通孔，筒體的內部設有數個隔板，等距分布，隔板之間設有間隙，隔板整體呈環形，筒體的兩端設有端蓋，端蓋設于筒體內部，筒體兩端的端蓋的外側中心均固連一個主軸，主軸通過軸承與清洗槽連接，其中筒體左側的主軸上還設有從動齒輪，從動齒輪與主動齒輪嚙合，主動齒輪安裝于電機的輸出軸上；筒體的下方設有水管；該用于單晶硅片清洗的清洗裝置利用筒體裝載單晶硅片，不會發生重疊，同時在沖洗時能夠利用主軸帶動筒體轉動使沖洗更加均勻，大大提高清洗效率，值得大力推廣。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅片加工技術領域，尤其是一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置。

背景技術

單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素，是晶體材料的重要組成部分，處于新材料發展的前沿。其主要用途是用作半導體材料和利用太陽能光伏發電、供熱等。由于太陽能具有清潔、環保、方便等諸多優勢，近三十年來，太陽能利用技術在研究開發、商業化生產、市場開拓方面都獲得了長足發展，成為世界快速、穩定發展的新興產業之一。

單晶硅可以用于二極管級、整流器件級、電路級以及太陽能電池級單晶產品的生產和深加工制造，其后續產品集成電路和半導體分離器件已廣泛應用于各個領域，在軍事電子設備中也占有重要地位。

單晶硅片是制造半導體硅器件的原料，用于制大功率整流器、大功率晶體管、二極管、開關器件等的主要材料，在硅片加工過程中，單晶硅片易附著顆粒、有機物、金屬或是吸附雜質分子，需要對其進行清洗，現有的清洗裝置均是將單晶硅片放入水槽中沖洗，效率較低。

實用新型內容

本實用新型旨在提供一種效率高的用于單晶硅片清洗的清洗裝置。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置，包括清洗槽，所述清洗槽內設有清洗支架，清洗支架包括筒體，筒體表面開有數個均勻分布的小通孔，筒體的內部設有數個隔板，等距分布，隔板之間設有間隙，隔板整體呈環形，筒體的兩端設有端蓋，端蓋設于筒體內部，筒體兩端的端蓋的外側中心均固連一個主軸，主軸通過軸承與清洗槽連接，其中筒體左側的主軸上還設有從動齒輪，從動齒輪與主動齒輪嚙合，主動齒輪安裝于電機的輸出軸上；筒體分為上下對稱設置的兩部分，其中下半部分筒體與端蓋固連，上半部分筒體通過螺絲與端蓋連接；筒體的下方設有水管，水管的頂部設有數個噴水頭。

作為本實用新型的進一步方案：所述隔板之間的間隙大于單晶硅片的厚度。

作為本實用新型的進一步方案：所述水管的一端堵塞，另一端通過管道和水泵連接到清洗液貯槽。

作為本實用新型的進一步方案：所述清洗槽的底部設有排水口。

作為本實用新型的進一步方案：所述筒體的內徑大于單晶硅片的直徑。

作為本實用新型的進一步方案：所述清洗槽的頂部設有頂蓋。

作為本實用新型的進一步方案：所述筒體的上方同樣設有一個水管，該水管的底部設有數個噴水頭，對準筒體的頂部。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該用于單晶硅片清洗的清洗裝置利用筒體裝載單晶硅片，不會發生重疊，同時在沖洗時能夠利用主軸帶動筒體轉動使沖洗更加均勻，并且旋轉產生的離心作用能夠使沖入筒體內的污水迅速排出，大大提高清洗效率。

附圖說明

圖1為實施例一中本實用新型的結構示意圖；

圖2為實施例一中本實用新型的筒體的橫截面結構圖；

圖3為實施例二中本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式