[實用新型]一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821360040.7 | 申請日： | 2018-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN208938929U | 公開（公告）日： | 2019-06-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳峰 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江眾晶電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 昆明合眾智信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 53113 | 代理人： | 錢磊 |
| 地址： | 324000 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 筒體 單晶硅片 隔板 清洗裝置 清洗槽 端蓋 清洗 從動齒輪 清洗支架 沖洗 主動齒輪嚙合 本實用新型 等距分布 清洗效率 筒體表面 筒體兩端 筒體內(nèi)部 筒體轉(zhuǎn)動 主動齒輪 輸出軸 小通孔 固連 軸承 水管 裝載 電機 | ||
1.一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置，包括清洗槽，其特征在于，所述清洗槽內(nèi)設(shè)有清洗支架，清洗支架包括筒體，筒體表面開有數(shù)個均勻分布的小通孔，筒體的內(nèi)部設(shè)有數(shù)個隔板，等距分布，隔板之間設(shè)有間隙，隔板整體呈環(huán)形，筒體的兩端設(shè)有端蓋，端蓋設(shè)于筒體內(nèi)部，筒體兩端的端蓋的外側(cè)中心均固連一個主軸，主軸通過軸承與清洗槽連接，其中筒體左側(cè)的主軸上還設(shè)有從動齒輪，從動齒輪與主動齒輪嚙合，主動齒輪安裝于電機的輸出軸上；筒體分為上下對稱設(shè)置的兩部分，其中下半部分筒體與端蓋固連，上半部分筒體通過螺絲與端蓋連接；筒體的下方設(shè)有水管，水管的頂部設(shè)有數(shù)個噴水頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置，其特征在于，所述隔板之間的間隙大于單晶硅片的厚度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置，其特征在于，所述水管的一端堵塞，另一端通過管道和水泵連接到清洗液貯槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置，其特征在于，所述清洗槽的底部設(shè)有排水口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置，其特征在于，所述筒體的內(nèi)徑大于單晶硅片的直徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置，其特征在于，所述清洗槽的頂部設(shè)有頂蓋。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅片清洗的清洗裝置，其特征在于，所述筒體的上方同樣設(shè)有一個水管，該水管的底部設(shè)有數(shù)個噴水頭，對準筒體的頂部。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
