[實用新型]一種等離子清洗機有效
| 申請號： | 201821354683.0 | 申請日： | 2018-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN208894765U | 公開（公告）日： | 2019-05-24 |
| 發明（設計）人： | 郭馳 | 申請（專利權）人： | 張家港康得新光電材料有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/00 | 分類號： | B08B7/00;B08B15/00 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215634 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 排氣罩 等離子體出口 等離子清洗機 本實用新型 腔體 一一對應設置 基板清洗 排氣口排 排氣性能 氣流壓力 基板 清洗 污染物 | ||
1.一種等離子清洗機，包括腔體(10)和排氣罩(20)，所述腔體(10)的下部設置有多個等離子體出口(11)，其特征在于，所述排氣罩(20)的數量為多個，且多個所述排氣罩(20)與多個所述等離子體出口(11)一一對應設置。
2.根據權利要求1所述的等離子清洗機，其特征在于，所述排氣罩(20)內位于進氣口與排氣口(221)之間設置有防倒流裝置(30)。
3.根據權利要求2所述的等離子清洗機，其特征在于，所述排氣罩(20)包括平直段(21)和收口段(22)，所述平直段(21)位于靠近所述等離子體出口(11)的一側，所述進氣口設置于所述平直段(21)靠近所述等離子體出口(11)的一端，所述收口段(22)的大端連接于所述平直段(21)遠離所述等離子體出口(11)的一端，所述排氣口(221)設置于所述收口段(22)的小端，所述防倒流裝置(30)設置于所述平直段(21)內。
4.根據權利要求3所述的等離子清洗機，其特征在于，所述防倒流裝置(30)與所述進氣口之間的距離是所述平直段(21)整體高度的三分之一。
5.根據權利要求2-4任一項所述的等離子清洗機，其特征在于，所述防倒流裝置(30)為單向閥。
6.根據權利要求2-4任一項所述的等離子清洗機，其特征在于，所述防倒流裝置(30)為擋板，所述擋板上設置有若干通氣孔。
7.根據權利要求1所述的等離子清洗機，其特征在于，所述等離子清洗機還包括傳送裝置，所述傳送裝置設置于所述等離子體出口(11)與所述排氣罩(20)之間。
8.根據權利要求7所述的等離子清洗機，其特征在于，所述傳送裝置包括多個傳送桿和套設在每個所述傳送桿上的多個傳送滾輪。
9.根據權利要求1所述的等離子清洗機，其特征在于，所述腔體(10)內設置有電離電極。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于張家港康得新光電材料有限公司，未經張家港康得新光電材料有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201821354683.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
