[實用新型]一種晶圓片盒清洗機構有效
| 申請號： | 201821338009.3 | 申請日： | 2018-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN208853419U | 公開（公告）日： | 2019-05-14 |
| 發明（設計）人： | 錢誠;李剛;周少龍 | 申請（專利權）人： | 無錫亞電智能裝備有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/34 | 分類號： | B08B9/34;F26B21/00 |
| 代理公司： | 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214121 江蘇省無錫市濱湖區中關村軟件園3*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶圓片 旋轉臺 多層 清洗機構 噴頭組 罩蓋 底板 噴頭 本實用新型 從上到下 依次設置 圓片盒 片盒 種晶 罩蓋內側壁 純水噴淋 底板中心 清洗結構 潔凈度 熱風機 包覆 烘干 甩出 水漬 下端 水珠 清洗 轉動 殘留 保證 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶圓片盒清洗機構，包括底板（1）、旋轉臺（2）、罩蓋（3）、噴頭（4）和晶圓片盒（6），其特征是：底板（1）中心設有旋轉臺（2），旋轉臺（2）上固定多層晶圓片盒組，多層晶圓片盒組沿著旋轉臺（2）從上到下依次設置，每層晶圓片盒組包括多個晶圓片盒（6）；罩蓋（3）下端固定在底板（1）上并將旋轉臺（2）包覆在內，罩蓋（3）內側壁設有多層噴頭組，多層噴頭組沿著罩蓋（3）從上到下依次設置，每層噴頭組包括多個噴頭（4）。
2.如權利要求1所述的一種晶圓片盒清洗機構，其特征是：所述罩蓋（3）頂部內側設有熱風機（5），熱風機（5）正對著旋轉臺（2）。
3.如權利要求1所述的一種晶圓片盒清洗機構，其特征是：所述每層晶圓片盒組的多個晶圓片盒（6）沿著圓周方向均勻分布。
4.如權利要求1所述的一種晶圓片盒清洗機構，其特征是：所述每層噴頭組的多個噴頭（4）沿著圓周方向均勻分布。
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