[實用新型]壓力檢測裝置及包含其的基板研磨系統

有效

• 申請號: 201821330472.3
• 申請日: 2018-08-17
• 公開（公告）號: CN208929972U
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 權寧奎;趙珳技
• 申請（專利權）人: 凱斯科技股份有限公司
• 主分類號: B24B37/005
• 分類號: B24B37/005
• 代理公司: 北京冠和權律師事務所 11399
• 代理人: 朱健;張國香

1.一種壓力檢測裝置，其為基板載體的壓力檢測裝置，基板載體對基板進行夾緊并移動，

所述壓力檢測裝置配置于所述基板載體的移動路徑上，通過所述基板載體得到加壓，由此檢測所述基板載體的壓力。

2.根據權利要求1所述的壓力檢測裝置，所述壓力檢測裝置包括：

裝載部，其用于裝載所述基板載體；以及

壓力傳感器，其設置于所述裝載部。

3.根據權利要求2所述的壓力檢測裝置，

所述裝載部具有遮蓋所述基板載體的保持環的面積。

4.根據權利要求2所述的壓力檢測裝置，

在所述基板載體裝載于所述裝載部的狀態下，所述壓力傳感器以對形成于所述基板載體的各個壓力腔室的各個壓力進行測量的形式配置于所述裝載部。

5.根據權利要求4所述的壓力檢測裝置，

所述壓力傳感器以與所述基板載體的保持環相面對的形式配置于所述裝載部。

6.根據權利要求1所述的壓力檢測裝置，

所述壓力檢測裝置對所述基板載體的多個區域的壓力進行檢測并生成針對所述基板載體的壓力分布。

7.根據權利要求6所述的壓力檢測裝置，

所述多個區域包括形成于所述基板載體的各個壓力腔室和保持環。

8.根據權利要求6所述的壓力檢測裝置，

所述壓力檢測裝置對針對所述基板載體的多個區域的各個標準壓力范圍進行設定，若檢測的壓力脫離了所述標準壓力范圍，則生成警告信號。

9.根據權利要求6所述的壓力檢測裝置，

所述壓力檢測裝置對形成于所述基板載體的各個壓力腔室的壓力進行檢測，并檢測壓力是否未達到設定的壓力。

10.根據權利要求6所述的壓力檢測裝置，

所述壓力檢測裝置對與所述基板載體的保持環的厚度相對應的標準壓力進行設定，將由所述保持環的加壓產生的壓力和所述標準壓力進行比較，從而測量所述保持環的厚度。

11.一種基板研磨系統，其包括：

研磨站，其包括研磨平板，研磨平板安裝有研磨墊并進行旋轉操作；

基板載體，其以夾緊基板的狀態沿著設定的路徑向研磨平板移動；以及

壓力檢測裝置，其配置于所述路徑上，通過所述基板載體得到加壓，由此檢測所述基板載體的壓力。

12.根據權利要求11所述的基板研磨系統，所述基板載體包括：

載體頭；

隔膜，其與所述載體頭相連接，以夾緊所述基板的形式形成壓力腔室；以及

保持環，其以包圍被所述隔膜夾緊的基板的周圍的形式與所述載體頭相連接。

13.根據權利要求12所述的基板研磨系統，所述基板載體還包括旋轉接頭，

旋轉接頭以向所述壓力腔室施加壓力的形式與所述載體頭相連接。

14.根據權利要求12所述的基板研磨系統，

所述基板載體的移動路徑形成閉環軌道，閉環軌道形成于研磨站上。

15.根據權利要求12所述的基板研磨系統，

所述基板載體的移動路徑是以軸為中心而形成的圓形軌道。

16.根據權利要求12所述的基板研磨系統，

所述基板載體可以裝載于所述壓力檢測裝置，

所述壓力檢測裝置在裝載有所述基板載體的狀態下，通過所述基板載體施加的壓力來檢測所述基板載體的各個區域的壓力。