[實(shí)用新型]多晶硅生產(chǎn)中超純氫氣的純化裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821329027.5
• 申請日: 2018-08-16
• 公開（公告）號(hào): CN208700568U
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉銘;朱順云;侯哲輝;張才利;郭民;危勝;栗一甲;杜斌功;胡亞萍
• 申請（專利權(quán)）人: 青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司;青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司;國家電投集團(tuán)黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C01B3/50
• 分類號(hào): C01B3/50;C01B3/56;C01B3/52
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 魏彥

1.一種多晶硅生產(chǎn)中超純氫氣的純化裝置，其特征在于，包括除氧器和氫氣超純化裝置，氫氣超純化裝置內(nèi)設(shè)置有低溫?fù)Q熱器和多個(gè)串聯(lián)的吸附罐，多個(gè)串聯(lián)的吸附罐浸泡在液氮中；

除氧器的進(jìn)口與原料氫氣的進(jìn)氣管道連接，除氧器的出口與低溫?fù)Q熱器連接，低溫?fù)Q熱器與吸附罐連接；

吸附罐上設(shè)置有氫氣出口管道，在吸附罐的氫氣出口管道上并聯(lián)一個(gè)設(shè)有氫氣在線檢測分析裝置的管道。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)中超純氫氣的純化裝置，其特征在于，除氧器為催化除氧器，催化除氧器內(nèi)設(shè)有鈀催化劑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)中超純氫氣的純化裝置，其特征在于，氫氣在線檢測分析裝置為在線氦離子化氣相色譜分析儀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)中超純氫氣的純化裝置，其特征在于，串聯(lián)的吸附罐的數(shù)量為3～5個(gè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)中超純氫氣的純化裝置，其特征在于，在原料氫氣的進(jìn)氣管道上設(shè)有安全閥。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)中超純氫氣的純化裝置，其特征在于，液氮與進(jìn)入吸附罐中的氫氣進(jìn)行換熱，氣化的液氮通過氮?dú)夥趴展艿琅懦觥?/p>

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)中超純氫氣的純化裝置，其特征在于，吸附罐包括第一吸附罐、第N吸附罐和設(shè)置在第一吸附罐和第N吸附罐之間的至少一個(gè)吸附罐，低溫?fù)Q熱器的原料氫氣出口與第一吸附罐的底端連接，第N吸附罐的超純氫氣出口與低溫?fù)Q熱器的超純氫氣進(jìn)口連接，低溫?fù)Q熱器的超純氫氣出口與用氫單元連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)中超純氫氣的純化裝置，其特征在于，還包括氮?dú)饧訜崞鳎龅獨(dú)饧訜崞魍ㄟ^管道與氫氣超純化裝置連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)中超純氫氣的純化裝置，其特征在于，還包括真空泵，所述真空泵通過管道與氫氣超純化裝置連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～9任一項(xiàng)所述的多晶硅生產(chǎn)中超純氫氣的純化裝置，其特征在于，還包括與所述串聯(lián)的吸附罐相并聯(lián)的多個(gè)備用吸附罐。