[實(shí)用新型]一種鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821324947.8
• 申請(qǐng)日: 2018-08-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209024636U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭良結(jié);曾德春;江湖;吳建清
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 米亞索樂(lè)裝備集成（福建）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/34
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

本實(shí)用新型提供一種鍍膜設(shè)備，包括：濺射腔；用于開(kāi)啟或關(guān)閉所述濺射腔的腔門(mén)；以及，保護(hù)件，可拆卸連接于所述濺射腔上，并位于所述濺射腔與所述腔門(mén)之間。由于濺射腔上連接有保護(hù)件，且保護(hù)件位于濺射腔與腔門(mén)之間，從而在腔門(mén)的安裝過(guò)程中，腔門(mén)只會(huì)與保護(hù)件產(chǎn)生碰撞，而不會(huì)與濺射腔產(chǎn)生碰撞，這樣，能夠減少對(duì)濺射腔尤其是濺射腔的腔口處的損壞。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)

濺射鍍膜技術(shù)作為一種重要的鍍膜技術(shù)，是利用氣體放電產(chǎn)生氣體電離，電離產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下高速轟擊靶體表面，擊出靶材的原子或分子，被擊出的原子或分子飛向被鍍基體表面沉積成薄膜的技術(shù)。采用濺射鍍膜技術(shù)進(jìn)行鍍膜時(shí)，需要用到鍍膜設(shè)備。

鍍膜設(shè)備往往設(shè)置有濺射腔，而濺射腔通常配備有腔門(mén)。當(dāng)需要更換添置或更換靶材時(shí)，需要將腔門(mén)取下，待靶材安放好之后再將腔門(mén)重新安裝到濺射腔上。目前，安裝腔門(mén)時(shí)，先把腔門(mén)放到濺射腔前面的導(dǎo)軌上，然后人工推動(dòng)腔門(mén)以使腔門(mén)與濺射腔貼緊。由于腔門(mén)的重量較大，需要較大的推力才能推動(dòng)，因而在人工推動(dòng)腔門(mén)的過(guò)程中，腔門(mén)與濺射腔之間會(huì)存在較大的碰撞，從而導(dǎo)致濺射腔容易損壞。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種鍍膜設(shè)備，以解決目前的鍍膜設(shè)備，在腔門(mén)的安裝過(guò)程中，由于在人工推動(dòng)腔門(mén)的過(guò)程中，腔門(mén)與濺射腔之間會(huì)存在較大的碰撞，從而導(dǎo)致濺射腔容易損壞的問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種鍍膜設(shè)備，包括：

濺射腔；

用于開(kāi)啟或關(guān)閉所述濺射腔的腔門(mén)；以及，

保護(hù)件，可拆卸連接于所述濺射腔上，并位于所述濺射腔與所述腔門(mén)之間。

可選的，所述保護(hù)件上開(kāi)設(shè)有第一固定孔，所述濺射腔上開(kāi)設(shè)有與所述第一固定孔對(duì)應(yīng)的第二固定孔；

所述鍍膜設(shè)備還包括：

第一連接件，穿設(shè)于所述第一固定孔和所述第二固定孔內(nèi)，以連接所述濺射腔與所述保護(hù)件。

可選的，所述第一連接件的靠近所述腔門(mén)的一端的端面與所述保護(hù)件的朝向所述腔門(mén)的表面齊平；或，

所述第一連接件的靠近所述腔門(mén)的一端的端面下沉于所述保護(hù)件的朝向所述腔門(mén)的表面。

可選的，所述保護(hù)件的朝向所述濺射腔的表面設(shè)置有卡接件，所述濺射腔上設(shè)置有與所述卡接件匹配的卡接孔，所述卡接件卡接于所述卡接孔內(nèi)。

可選的，所述保護(hù)件上開(kāi)設(shè)有通孔，所述通孔貫穿所述保護(hù)件的朝向所述濺射腔的表面與背向所述濺射腔的表面。

可選的，所述腔門(mén)上安裝有靶材，所述通孔的位置與所述靶材的位置對(duì)應(yīng)，所述通孔的尺寸大于或等于所述靶材的尺寸且小于或等于所述濺射腔的腔口的尺寸。

可選的，所述保護(hù)件的材質(zhì)為金屬。

可選的，所述保護(hù)件的厚度為5毫米。

可選的，所述腔門(mén)可拆卸連接于所述保護(hù)件上；或，所述腔門(mén)可拆卸連接于所述濺射腔上。

可選的，所述腔門(mén)的朝向所述保護(hù)件的表面設(shè)置有密封層，在所述濺射腔處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，所述密封層與所述保護(hù)件和/或所述濺射腔相貼合。

在本實(shí)用新型實(shí)施例中，由于濺射腔上連接有保護(hù)件，且保護(hù)件位于濺射腔與腔門(mén)之間，從而在腔門(mén)的安裝過(guò)程中，腔門(mén)只會(huì)與保護(hù)件產(chǎn)生碰撞，而不會(huì)與濺射腔產(chǎn)生碰撞，這樣，能夠減少對(duì)濺射腔尤其是濺射腔的腔口處的損壞。

附圖說(shuō)明