[實用新型]一種鍍膜設備

有效

• 申請號: 201821324947.8
• 申請日: 2018-08-16
• 公開（公告）號: CN209024636U
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發明（設計）人: 鄭良結;曾德春;江湖;吳建清
• 申請（專利權）人: 米亞索樂裝備集成（福建）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種鍍膜設備，其特征在于，包括：

濺射腔；

用于開啟或關閉所述濺射腔的腔門；以及，

保護件，可拆卸連接于所述濺射腔上，并位于所述濺射腔與所述腔門之間。

2.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，所述保護件上開設有第一固定孔，所述濺射腔上開設有與所述第一固定孔對應的第二固定孔；

所述鍍膜設備還包括：

第一連接件，穿設于所述第一固定孔和所述第二固定孔內，以連接所述濺射腔與所述保護件。

3.根據權利要求2所述的鍍膜設備，其特征在于，所述第一連接件的靠近所述腔門的一端的端面與所述保護件的朝向所述腔門的表面齊平；或，

所述第一連接件的靠近所述腔門的一端的端面下沉于所述保護件的朝向所述腔門的表面。

4.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，所述保護件的朝向所述濺射腔的表面設置有卡接件，所述濺射腔上設置有與所述卡接件匹配的卡接孔，所述卡接件卡接于所述卡接孔內。

5.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，所述保護件上開設有通孔，所述通孔貫穿所述保護件的朝向所述濺射腔的表面與背向所述濺射腔的表面。

6.根據權利要求5所述的鍍膜設備，其特征在于，所述腔門上安裝有靶材，所述通孔的位置與所述靶材的位置對應，所述通孔的尺寸大于或等于所述靶材的尺寸且小于或等于所述濺射腔的腔口的尺寸。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的鍍膜設備，其特征在于，所述保護件的材質為金屬。

8.根據權利要求1至6中任一項所述的鍍膜設備，其特征在于，所述保護件的厚度為5毫米。

9.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，所述腔門可拆卸連接于所述保護件上；或，所述腔門可拆卸連接于所述濺射腔上。

10.根據權利要求1所述的鍍膜設備，其特征在于，所述腔門的朝向所述保護件的表面設置有密封層，在所述濺射腔處于關閉狀態時，所述密封層與所述保護件和/或所述濺射腔相貼合。