[實用新型]一種ITO靶材放置裝置

有效

• 申請號: 201821322612.2
• 申請日: 2018-08-16
• 公開（公告）號: CN208584536U
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 劉洪浩
• 申請（專利權）人: 江蘇比昂電子材料有限公司
• 主分類號: B25H3/04
• 分類號: B25H3/04
• 代理公司: 蘇州市指南針專利代理事務所(特殊普通合伙) 32268
• 代理人: 馮現偉

本實用新型公開了一種ITO靶材放置裝置，包括第一支架、底座與第二支架，所述底座頂部的兩側皆固定安裝有第一支架，且第一支架的頂部活動安裝有第二支架，所述第一支架與第二支架的連接處設置有連接裝置，所述第一支架與第二支架的表面皆設置有卡槽，所述第一支架與第二支架之間皆固定安裝有放置板，且放置板的兩端皆通過鉸鏈活動安裝有擋板，所述擋板的表面通過鉸接軸活動安裝有與卡槽相互配合使用的軸桿，所述放置板的兩側皆固定安裝有滑動裝置，且滑動裝置之間固定安裝有限位桿。本實用新型通過設置有一系列的結構使得該ITO靶材放置裝置在放置時穩定性好，且便于拆裝。

技術領域

本實用新型涉及存放裝置技術領域，具體為一種ITO靶材放置裝置。

背景技術

ITO靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型，再高溫氣氛燒結形成的黑灰色陶瓷半導體，而在ITO靶材的生產制作時，一般都會用到放置裝置，現有的ITO靶材放置裝置不便于進行拆裝，且穩定性與保護功能也不強，導致ITO靶材非常不便于進行放置，所以急需一種ITO靶材放置裝置來解決現有的問題，以便對ITO靶材更好的進行放置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種ITO靶材放置裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種ITO靶材放置裝置，包括第一支架、底座與第二支架，所述底座頂部的兩側皆固定安裝有第一支架，且第一支架的頂部活動安裝有第二支架，所述第一支架與第二支架的連接處設置有連接裝置，所述第一支架與第二支架的表面皆設置有卡槽，所述第一支架與第二支架之間皆固定安裝有放置板，且放置板的兩端皆通過鉸鏈活動安裝有擋板，所述擋板的表面通過鉸接軸活動安裝有與卡槽相互配合使用的軸桿，所述放置板的兩側皆固定安裝有滑動裝置，且滑動裝置之間固定安裝有限位桿。

優選的，所述底座的底部固定安裝有萬向輪，且萬向輪的一側固定安裝有剎車片。

優選的，所述放置板的表面設置有防護墊，且防護墊采用橡膠制成。

優選的，所述第一支架的頂部設置有卡孔，所述第二支架的一端固定安裝有與卡孔相互配合使用的卡塊。

優選的，所述滑動裝置的內部固定安裝有滑軌，且滑軌的內部活動安裝有滑塊。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該ITO靶材放置裝置通過設置了擋板，避免放置在本裝置上的ITO靶材出現掉落的情況，提升ITO靶材放置的安全性，通過設置了連接裝置，使本ITO靶材的放置裝置便于進行拆卸，以便更好的對ITO靶材進行存放與使用，通過設置了萬向輪，使本裝置具有移動與角度調節的功能，以便使用人員進行使用，通過設置了軸桿與卡槽，可以使擋板對放置板進行密封，避免擋板在密封時出現脫落的情況，通過設置了鉸鏈，使本裝置的擋板便于進行打開，以便使用人員拿取放置板內的ITO靶材，通過設置了滑動裝置，可以根據ITO靶材的規格進行調節，以便對ITO靶材進行限位固定，通過設置了防護墊，能夠對ITO靶材進行保護，避免ITO靶材在放置時出現損壞。

附圖說明

圖1為本實用新型的正視圖；

圖2為本實用俯視圖；

圖3為本實用新型的連接結構示意圖；

圖4為本實用新型的滑動裝置結構示意圖。

圖中：1、擋板；2、放置板；3、連接裝置；301、卡塊；302、卡孔；4、第一支架；5、底座；6、萬向輪；7、第二支架；8、軸桿；9、卡槽；10、鉸接軸；11、鉸鏈；12、防護墊；13、限位桿；14、滑動裝置；1401、滑塊；1402、滑軌。

具體實施方式