[實用新型]一種ITO靶材放置裝置

有效

• 申請號: 201821322612.2
• 申請日: 2018-08-16
• 公開（公告）號: CN208584536U
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 劉洪浩
• 申請（專利權）人: 江蘇比昂電子材料有限公司
• 主分類號: B25H3/04
• 分類號: B25H3/04
• 代理公司: 蘇州市指南針專利代理事務所(特殊普通合伙) 32268
• 代理人: 馮現偉

1.一種ITO靶材放置裝置，包括第一支架(4)、底座(5)與第二支架(7)，其特征在于：所述底座(5)頂部的兩側皆固定安裝有第一支架(4)，且第一支架(4)的頂部活動安裝有第二支架(7)，所述第一支架(4)與第二支架(7)的連接處設置有連接裝置(3)，所述第一支架(4)與第二支架(7)的表面皆設置有卡槽(9)，所述第一支架(4)與第二支架(7)之間皆固定安裝有放置板(2)，且放置板(2)的兩端皆通過鉸鏈(11)活動安裝有擋板(1)，所述擋板(1)的表面通過鉸接軸(10)活動安裝有與卡槽(9)相互配合使用的軸桿(8)，所述放置板(2)的兩側皆固定安裝有滑動裝置(14)，且滑動裝置(14)之間固定安裝有限位桿(13)。

2.根據權利要求1所述的一種ITO靶材放置裝置，其特征在于：所述底座(5)的底部固定安裝有萬向輪(6)，且萬向輪(6)的一側固定安裝有剎車片。

3.根據權利要求1所述的一種ITO靶材放置裝置，其特征在于：所述放置板(2)的表面設置有防護墊(12)，且防護墊(12)采用橡膠制成。

4.根據權利要求1所述的一種ITO靶材放置裝置，其特征在于：所述第一支架(4)的頂部設置有卡孔(302)，所述第二支架(7)的一端固定安裝有與卡孔(302)相互配合使用的卡塊(301)。

5.根據權利要求1所述的一種ITO靶材放置裝置，其特征在于：所述滑動裝置(14)的內部固定安裝有滑軌(1402)，且滑軌(1402)的內部活動安裝有滑塊(1401)。