[實(shí)用新型]一種防止受熱變形的硅片倒角機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821321858.8
• 申請(qǐng)日: 2018-08-16
• 公開（公告）號(hào): CN208729402U
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陸敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 四川晶美硅業(yè)科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B9/06
• 分類號(hào): B24B9/06;B24B41/02;B24B55/02;B24B51/00
• 代理公司: 成都天嘉專利事務(wù)所(普通合伙) 51211
• 代理人: 胡曉

本實(shí)用新型公開了一種防止受熱變形的硅片倒角機(jī)，屬于硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)架和箱體，箱體內(nèi)設(shè)置有呈片裝置、冷卻液箱、PLC控制箱和轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，冷卻液箱位于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上方，冷卻液箱固定在箱體內(nèi)壁上，冷卻液箱下部設(shè)置噴淋管，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)箱固定設(shè)置在箱體上，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)箱內(nèi)，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)輸出端連接轉(zhuǎn)動(dòng)聯(lián)軸器，轉(zhuǎn)動(dòng)聯(lián)軸器另一端連接砂輪，PLC控制箱包括顯示屏、按鈕和PLC控制器，顯示屏和按鈕均與PLC控制器相連，PLC控制器還與縱向伺服電機(jī)、橫向伺服電機(jī)、呈片電機(jī)和轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)相連。本實(shí)用新型具有加工尺寸廣、防止硅片受熱變形和自動(dòng)化程度更高等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種防止受熱變形的硅片倒角機(jī)。

背景技術(shù)

硅是一種很典型的半導(dǎo)體材料，其在地球表面的含量?jī)H次于氧，被廣泛應(yīng)用與二極管、三極管、晶閘管、場(chǎng)效應(yīng)管和各種集成電路，航空航天，光導(dǎo)纖維等多種領(lǐng)域中，是非常重要的材料。在硅片的加工過程中，從硅晶錠切成硅片后，如果直接進(jìn)行磨片，容易產(chǎn)生崩邊，從而引起硅片報(bào)廢，因此在磨片之前需要對(duì)硅片進(jìn)行倒角。目前的技術(shù)是通過人工對(duì)崩邊的硅片進(jìn)行修磨，勞力投入大，產(chǎn)量小，產(chǎn)品合格率低。

公告號(hào)為CN205904810U，公告日為2017年01月25日的中國專利文獻(xiàn)公開了一種圓形硅片快速倒角機(jī)，包括電機(jī)、主動(dòng)帶輪、傳動(dòng)帶、從動(dòng)帶輪、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、砂輪、固定塊、工作臺(tái)、機(jī)體；其特征在于：機(jī)體與工作臺(tái)固定連接，工作臺(tái)與固定塊固定連接，機(jī)體與電機(jī)固定連接，電機(jī)與主動(dòng)帶輪同軸連接，主動(dòng)帶輪通過傳動(dòng)帶與從動(dòng)帶輪連接，從動(dòng)帶輪通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸與砂輪固定連接。

該專利通過機(jī)體與工作臺(tái)固定連接，工作臺(tái)與固定塊固定連接，機(jī)體與電機(jī)固定連接，電機(jī)與主動(dòng)帶輪同軸連接，主動(dòng)帶輪通過傳動(dòng)帶與從動(dòng)帶輪連接，從動(dòng)帶輪通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸與砂輪固定連接，本裝置采用內(nèi)錐腔結(jié)構(gòu)的砂輪，提高倒角效率，提高企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益，但是加工尺寸單一、硅片受熱易變形。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種加工多尺寸、防止硅片受熱變形和自動(dòng)化程度更高的硅片倒角機(jī)。

本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種防止受熱變形的硅片倒角機(jī)，包括機(jī)架和箱體，其特征在于：所述箱體內(nèi)設(shè)置有呈片裝置、冷卻液箱、PLC控制箱和轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述呈片裝置包括基座、移動(dòng)板、橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)、縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)、安裝板、橫向固定塊、縱向固定塊、固定塊支柱、呈片電機(jī)、呈片聯(lián)軸器和真空吸盤；

所述橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫向伺服電機(jī)、橫向電機(jī)傳動(dòng)座、橫向滾珠絲桿、橫向固定座、橫向螺母座、2條橫向?qū)к壓?個(gè)橫向滑塊，所述2條橫向?qū)к壴O(shè)置在基座上，所述每條橫向?qū)к壣显O(shè)置2個(gè)橫向滑塊，所述橫向?qū)к壷g固定設(shè)置有橫向固定座，所述橫向固定座與橫向滾珠絲桿通過螺母相連，所述橫向滾珠絲桿上套設(shè)橫向螺母座，所述橫向滾珠絲桿遠(yuǎn)離橫向固定座一端連接有橫向電機(jī)傳動(dòng)座，所述橫向傳動(dòng)座和橫向伺服電機(jī)相連，所述橫向螺母座上固定連接移動(dòng)板，所述移動(dòng)板通過橫向滑塊跟橫向?qū)к壔瑒?dòng)連接；所述縱向移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括縱向伺服電機(jī)、縱向電機(jī)傳動(dòng)座、縱向滾珠絲桿、縱向固定座、縱向螺母座、2條縱向?qū)к壓?個(gè)縱向滑塊，所述2條縱向?qū)к壴O(shè)置在移動(dòng)板上，所述每條縱向?qū)к壣显O(shè)置2個(gè)縱向滑塊，所述縱向?qū)к壷g固定設(shè)置有縱向固定座，所述縱向固定座與縱向滾珠絲桿通過螺母相連，所述縱向滾珠絲桿上套設(shè)縱向螺母座，所述縱向滾珠絲桿遠(yuǎn)離縱向固定座一端連接有縱向電機(jī)傳動(dòng)座，所述縱向傳動(dòng)座和縱向伺服電機(jī)相連，所述縱向螺母座上固定連接安裝板，所述安裝板通過縱向滑塊跟縱向?qū)к壔瑒?dòng)連接，所述橫向固定座和縱向固定座中部均設(shè)置有指針；所述安裝板上固定設(shè)置呈片電機(jī)，所述呈片電機(jī)輸出端連接呈片聯(lián)軸器，所述呈片聯(lián)軸器另一端連接連接真空吸盤；所述基座上設(shè)置固定塊支柱，所述固定塊支柱上設(shè)置橫向固定塊和縱向固定塊，所述橫向固定塊和縱向固定塊相連，所述橫向固定塊和縱向固定塊上設(shè)置有刻度；

所述冷卻液箱位于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上方，所述冷卻液箱固定在箱體內(nèi)壁上，所述冷卻液箱下部設(shè)置噴淋管；