[實用新型]一種防止受熱變形的硅片倒角機

有效

• 申請號: 201821321858.8
• 申請日: 2018-08-16
• 公開（公告）號: CN208729402U
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發明（設計）人: 陸敏
• 申請（專利權）人: 四川晶美硅業科技有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B41/02;B24B55/02;B24B51/00
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 胡曉

1.一種防止受熱變形的硅片倒角機，包括機架（1）和箱體（2），其特征在于：所述箱體（2）內設置有呈片裝置（3）、冷卻液箱（4）、PLC控制箱（5）和轉動機構，所述呈片裝置（3）包括基座（6）、移動板（7）、橫向移動機構、縱向移動機構、安裝板（8）、橫向固定塊（9）、縱向固定塊（10）、固定塊支柱（11）、呈片電機（12）、呈片聯軸器（13）和真空吸盤（14）；

所述橫向移動機構包括橫向伺服電機（15）、橫向電機傳動座、橫向滾珠絲桿（16）、橫向固定座（17）、橫向螺母座、2條橫向導軌（18）和4個橫向滑塊，所述2條橫向導軌（18）設置在基座（6）上，所述每條橫向導軌（18）上設置2個橫向滑塊，所述橫向導軌（18）之間固定設置有橫向固定座（17），所述橫向固定座（17）與橫向滾珠絲桿（16）通過螺母相連，所述橫向滾珠絲桿（16）上套設橫向螺母座，所述橫向滾珠絲桿（16）遠離橫向固定座（17）一端連接有橫向電機傳動座，所述橫向傳動座和橫向伺服電機（15）相連，所述橫向螺母座上固定連接移動板（7），所述移動板（7）通過橫向滑塊跟橫向導軌（18）滑動連接；所述縱向移動機構包括縱向伺服電機（19）、縱向電機傳動座、縱向滾珠絲桿（20）、縱向固定座（21）、縱向螺母座、2條縱向導軌（22）和4個縱向滑塊，所述2條縱向導軌（22）設置在移動板（7）上，所述每條縱向導軌（22）上設置2個縱向滑塊，所述縱向導軌（22）之間固定設置有縱向固定座（21），所述縱向固定座（21）與縱向滾珠絲桿（20）通過螺母相連，所述縱向滾珠絲桿（20）上套設縱向螺母座，所述縱向滾珠絲桿（20）遠離縱向固定座（21）一端連接有縱向電機傳動座，所述縱向傳動座和縱向伺服電機（19）相連，所述縱向螺母座上固定連接安裝板（8），所述安裝板（8）通過縱向滑塊跟縱向導軌（22）滑動連接，所述橫向固定座（17）和縱向固定座（21）中部均設置有指針；所述安裝板（8）上固定設置呈片電機（12），所述呈片電機（12）輸出端連接呈片聯軸器（13），所述呈片聯軸器（13）另一端連接連接真空吸盤（14）；所述基座（6）上設置固定塊支柱（11），所述固定塊支柱（11）上設置橫向固定塊（9）和縱向固定塊（10），所述橫向固定塊（9）和縱向固定塊（10）相連，所述橫向固定塊（9）和縱向固定塊（10）上設置有刻度；

所述冷卻液箱（4）位于轉動機構上方，所述冷卻液箱（4）固定在箱體（2）內壁上，所述冷卻液箱（4）下部設置噴淋管（23）；

所述轉動機構包括轉動電機（24）、轉動聯軸器（25）、砂輪（26）和轉動電機箱（27），所述轉動電機箱（27）固定設置在箱體（2）上，所述轉動電機（24）安裝在轉動電機箱（27）內，所述轉動電機（24）輸出端連接轉動聯軸器（25），所述轉動聯軸器（25）另一端連接砂輪（26）；

所述PLC控制箱（5）包括顯示屏（28）、按鈕（29）和PLC控制器，所述顯示屏（28）和按鈕（29）均與PLC控制器相連，所述PLC控制器還與縱向伺服電機（19）、橫向伺服電機（15）、呈片電機（12）和轉動電機（24）相連。

2.根據權利要求1所述的一種防止受熱變形的硅片倒角機，其特征在于：所述噴淋管（23）上設置電磁閥（30），所述電磁閥（30）和PLC控制器相連。

3.根據權利要求1所述的一種防止受熱變形的硅片倒角機，其特征在于：所述冷卻液箱（4）上方設置加液口（31），所述冷卻液箱（4）上設置液位計（32）。

4.根據權利要求1所述的一種防止受熱變形的硅片倒角機，其特征在于：所述轉動電機箱（27）下部設置有支撐桿（33），所述支撐桿（33）一端和轉動電機箱（27）底部相連，所述支撐桿（33）另一端與箱體（2）內壁相連。

5.根據權利要求1所述的一種防止受熱變形的硅片倒角機，其特征在于：所述砂輪（26）的回轉面設置有磨削槽，所述磨削槽為T型或R型。

6.根據權利要求1所述的一種防止受熱變形的硅片倒角機，其特征在于：所述箱體（2）下端設置排水管（34），所述排水管（34）上設置閥門（35）。