[實用新型]一種雙載臺芯片圖形曝光機

有效

• 申請號: 201821316933.1
• 申請日: 2018-08-16
• 公開（公告）號: CN208796017U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 韋日文;王勝利
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種雙載臺芯片圖形曝光機。所述一種雙載臺芯片圖形曝光機，包括，底座；第一承片臺，通過第一滑軌連接于底座；第二承片臺，通過第二滑軌連接于底座；光刻部，固定于底座；第一承片臺能夠沿第一滑軌運動到光刻部正下方；第二承片臺能夠沿第二滑軌運動到光刻部正下方；采用第一承片臺和第二承片臺共同為光刻部供料的方式，當第一承片臺上的物料完成光刻后并離開光刻部后，第二承片臺移動到光刻部進行光刻；或者第二承片臺完成光刻后，第一承片臺移動到光刻部；從而減小光刻部空閑時間，提升雙載臺芯片圖形曝光機的工作效率。

技術領域

本實用新型涉及一種雙載臺芯片圖形曝光機。

背景技術

現有的雙載臺芯片圖形曝光機采用一個承片臺和一個光刻部，因此光刻完成后承片臺遠離光刻部，需要重新換片調角度才能用于光刻；而承片臺遠離光刻部到換片后回到光刻部這段時間，光刻部處于停止工作狀態，此種承片臺供料方式不利于提升承片臺的工作效率。

實用新型內容

為提升雙載臺芯片圖形曝光機的工作效率，本實用新型提出一種雙載臺芯片圖形曝光機技術方案。

本實用新型的技術方案為：一種雙載臺芯片圖形曝光機，包括，

底座；

第一承片臺，通過第一滑軌連接于底座；

第二承片臺，通過第二滑軌連接于底座；

光刻部，固定于底座；第一承片臺能夠沿第一滑軌運動到光刻部正下方；第二承片臺能夠沿第二滑軌運動到光刻部正下方。

進一步的，所述雙載臺芯片圖形曝光機還包括，

固定于光刻部的第一視覺系統，用于調整第一承片臺上圓片偏轉角度；第一承片臺能夠沿第一滑軌運動到第一視覺系統；

固定于光刻部的第二視覺系統，用于調整第二承片臺上圓片偏轉角度；第二承片臺能夠沿第二滑軌運動到第二視覺系統。

進一步的，所述第一滑軌平行于第二滑軌，所述第一滑軌和第二滑軌分布于光刻部兩側。

進一步的，所述第一滑軌與第二滑軌正對應連接，所述第一承片臺能夠運動到第二滑軌，所述第一承片臺靠近第二承片臺一側設置有防撞元件/第二承片臺靠近第一承片臺的一側設置有防撞元件。

進一步的，所述雙載臺芯片圖形曝光機還包括，

連接有第一驅動電機的第一驅動螺桿，連接于底座，用于驅動第一承片臺沿第一滑軌運動；

連接有第二驅動電機的第二驅動螺桿，連接于底座，用于驅動第二承片臺沿第二滑軌運動。

本實用新型的有益效果在于：采用第一承片臺和第二承片臺共同為光刻部供料的方式，當第一承片臺上的物料完成光刻后并離開光刻部后，第二承片臺移動到光刻部進行光刻；或者第二承片臺完成光刻后，第一承片臺移動到光刻部；從而減小光刻部空閑時間，提升雙載臺芯片圖形曝光機的工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型雙載臺芯片圖形曝光機結構示意圖。

具體實施方式

為便于本領域技術人員理解本實用新型的技術方案，下面將本實用新型的技術方案結合具體實施例作進一步詳細的說明。

如圖1所示，一種雙載臺芯片圖形曝光機100，包括，

底座20；

第一承片臺30，通過第一滑軌31連接于底座20，第一承片臺30能夠沿所述第一滑軌31滑動到預設位置，本實施例中包括取放片位置，調片位置和光刻位置；