[實用新型]一種雙載臺芯片圖形曝光機有效
| 申請號： | 201821316933.1 | 申請日： | 2018-08-16 |
| 公開（公告）號： | CN208796017U | 公開（公告）日： | 2019-04-26 |
| 發明（設計）人： | 韋日文;王勝利 | 申請（專利權）人： | 深圳市矽電半導體設備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518172 廣東省深圳市龍崗區龍城街*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 承片臺 芯片圖形 曝光機 載臺 底座 滑軌連接 滑軌運動 本實用新型 工作效率 承片 供料 減小 移動 空閑 | ||
1.一種雙載臺芯片圖形曝光機，其特征在于：包括，
底座；
第一承片臺，通過第一滑軌連接于底座；
第二承片臺，通過第二滑軌連接于底座；
光刻部，固定于底座；第一承片臺能夠沿第一滑軌運動到光刻部正下方；第二承片臺能夠沿第二滑軌運動到光刻部正下方。
2.根據權利要求1所述的雙載臺芯片圖形曝光機，其特征在于：所述雙載臺芯片圖形曝光機還包括，
固定于光刻部的第一視覺系統，用于調整第一承片臺上圓片偏轉角度；第一承片臺能夠沿第一滑軌運動到第一視覺系統；
固定于光刻部的第二視覺系統，用于調整第二承片臺上圓片偏轉角度；第二承片臺能夠沿第二滑軌運動到第二視覺系統。
3.根據權利要求1或2所述的雙載臺芯片圖形曝光機，其特征在于：所述第一滑軌平行于第二滑軌，所述第一滑軌和第二滑軌分布于光刻部兩側。
4.根據權利要求3所述的雙載臺芯片圖形曝光機，其特征在于：
所述第一滑軌與第二滑軌正對應連接，所述第一承片臺能夠運動到第二滑軌，所述第一承片臺靠近第二承片臺一側設置有防撞元件/第二承片臺靠近第一承片臺的一側設置有防撞元件。
5.根據權利要求1所述的雙載臺芯片圖形曝光機，其特征在于：所述雙載臺芯片圖形曝光機還包括，
連接有第一驅動電機的第一驅動螺桿，連接于底座，用于驅動第一承片臺沿第一滑軌運動；
連接有第二驅動電機的第二驅動螺桿，連接于底座，用于驅動第二承片臺沿第二滑軌運動。
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