[實用新型]晶圓清洗花籃及晶圓清洗系統

有效

• 申請號: 201821308964.2
• 申請日: 2018-08-14
• 公開（公告）號: CN208781813U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 程謙;王虎;陳賢輝
• 申請（專利權）人: 武漢銳晶激光芯片技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 北京眾達德權知識產權代理有限公司 11570
• 代理人: 劉杰

本實用新型實施例涉及半導體晶圓清洗技術領域，具體涉及一種晶圓清洗花籃及晶圓清洗系統，所述晶圓清洗花籃包括置物臺和阻擋結構。阻擋結構套設在置物臺的外壁，凸出置物臺，以形成置物空間，置物臺的表面設置有凸起。可以將晶圓放置于凸起上，降低了晶圓與晶圓清洗花籃的接觸面積，進一步的，置物臺上設有預設尺寸的通孔，使得晶圓清洗花籃底部是中空的，漏液性好，因此，使得利用晶圓清洗花籃清洗晶圓時，晶圓不會粘在晶圓清洗花籃上，取出容易。

技術領域

本實用新型涉及半導體晶圓清洗技術領域，具體涉及一種晶圓清洗花籃及晶圓清洗系統。

背景技術

在晶圓的加工過程中，通常需要對晶圓進行多次的清洗。現有技術中，將晶圓放置到花籃內時，在清洗完畢后，因溶劑的粘性，使得晶圓粘在花籃底部，不易取出。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶圓清洗花籃及晶圓清洗系統，用以解決上述問題。

本實用新型是這樣實現的：

本實用新型實施例提供了一種晶圓清洗花籃，所述晶圓清洗花籃包置物臺和阻擋結構；

所述置物臺上設置有預設尺寸的通孔，所述阻擋結構套設在所述置物臺的外壁，凸出所述置物臺，以形成置物空間；

所述置物臺的表面設置有凸起。

可選的，所述置物臺還設有漏水孔。

可選的，所述凸起有多個，多個所述凸起均勻分布在所述置物臺上。

可選的，所述漏水孔有多個，多個所述漏水孔設置在所述多個凸起之間。

可選的，所述阻擋結構與所述置物臺連接設置。

可選的，所述通孔設置在所述置物臺的中央以使所述置物臺呈環狀，所述凸起固定設置在所述通孔周圍的所述置物臺上。

可選的，所述阻擋結構設有貫穿所述阻擋結構的壁的夾取開口以使晶圓夾取結構能夠夾取置于所述凸起上的晶圓。

可選的，所述夾取開口的深度等于從所述阻擋結構遠離所述置物臺的端面到所述置物臺的距離。

可選的，所述凸起采用聚四氟乙烯材料制成。

本實用新型實施例還提供了一種晶圓清洗系統，所述晶圓清洗系統包括清洗藥劑容器、晶圓夾取結構、支撐組件和上述任一項所述的晶圓清洗花籃；

所述清洗藥劑容器設置在所述支撐組件上；

所述晶圓清洗花籃和所述晶圓夾取結構均可活動設置在所述支撐組件上；

所述晶圓清洗花籃設置在所述清洗藥劑容器和所述晶圓夾取結構之間，所述晶圓清洗花籃的底部靠近所述清洗藥劑容器；

所述晶圓清洗花籃可以沿著所述支撐組件向靠近或者遠離所述清洗藥劑容器的方向移動；

所述晶圓夾取結構可以從所述晶圓清洗花籃中取出晶圓。

相對現有技術，本實用新型具有以下有益效果：本實用新型提供的本實用新型提供一種晶圓清洗花籃及晶圓清洗系統，所述晶圓清洗花籃包括置物臺和阻擋結構。阻擋結構套設在置物臺的外壁，凸出置物臺，以形成置物空間，置物臺的表面設置有凸起。可以將晶圓放置于凸起上，降低了晶圓與晶圓清洗花籃的接觸面積，進一步的，置物臺上設有預設尺寸的通孔，使得晶圓清洗花籃的底部是中空的，漏液性好，因此，使得利用晶圓清洗花籃清洗晶圓時，晶圓不會粘在晶圓清洗花籃上，取出容易。

為使本實用新型的上述目的、特征和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細說明如下。

附圖說明