[實(shí)用新型]晶圓清洗花籃及晶圓清洗系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821308964.2
• 申請(qǐng)日: 2018-08-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208781813U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程謙;王虎;陳賢輝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 武漢銳晶激光芯片技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 北京眾達(dá)德權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11570
• 代理人: 劉杰

1.一種晶圓清洗花籃，其特征在于，所述晶圓清洗花籃包括置物臺(tái)和阻擋結(jié)構(gòu)；

所述置物臺(tái)上設(shè)置有預(yù)設(shè)尺寸的通孔，所述阻擋結(jié)構(gòu)套設(shè)在所述置物臺(tái)的外壁，凸出所述置物臺(tái)，以形成置物空間；

所述置物臺(tái)的表面設(shè)置有凸起。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓清洗花籃，其特征在于，所述置物臺(tái)還設(shè)有漏水孔。

3.如權(quán)利要求2所述的晶圓清洗花籃，其特征在于，所述凸起有多個(gè)，多個(gè)所述凸起均勻分布在所述置物臺(tái)上。

4.如權(quán)利要求3所述的晶圓清洗花籃，其特征在于，所述漏水孔有多個(gè)，多個(gè)所述漏水孔設(shè)置在所述多個(gè)凸起之間。

5.如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的晶圓清洗花籃，其特征在于，所述阻擋結(jié)構(gòu)與所述置物臺(tái)連接設(shè)置。

6.如權(quán)利要求1所述的晶圓清洗花籃，其特征在于，所述通孔設(shè)置在所述置物臺(tái)的中央以使所述置物臺(tái)呈環(huán)狀，所述凸起固定設(shè)置在所述通孔周?chē)乃鲋梦锱_(tái)上。

7.如權(quán)利要求1所述的晶圓清洗花籃，其特征在于，所述阻擋結(jié)構(gòu)設(shè)有貫穿所述阻擋結(jié)構(gòu)的壁的夾取開(kāi)口以使晶圓夾取結(jié)構(gòu)能夠夾取置于所述凸起上的晶圓。

8.如權(quán)利要求7所述的晶圓清洗花籃，其特征在于，所述夾取開(kāi)口的深度等于從所述阻擋結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離所述置物臺(tái)的端面到所述置物臺(tái)的距離。

9.如權(quán)利要求1所述的晶圓清洗花籃，其特征在于，所述凸起采用聚四氟乙烯材料制成。

10.一種晶圓清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述晶圓清洗系統(tǒng)包括清洗藥劑容器、晶圓夾取結(jié)構(gòu)、支撐組件和權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的晶圓清洗花籃；

所述清洗藥劑容器設(shè)置在所述支撐組件上；

所述晶圓清洗花籃和所述晶圓夾取結(jié)構(gòu)均可活動(dòng)設(shè)置在所述支撐組件上；

所述晶圓清洗花籃設(shè)置在所述清洗藥劑容器和所述晶圓夾取結(jié)構(gòu)之間，所述晶圓清洗花籃的底部靠近所述清洗藥劑容器；

所述晶圓清洗花籃可以沿著所述支撐組件向靠近或者遠(yuǎn)離所述清洗藥劑容器的方向移動(dòng)；

所述晶圓夾取結(jié)構(gòu)可以從所述晶圓清洗花籃中取出晶圓。