[實用新型]一種帶有自吸噴淋裝置的晶圓沖洗裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821306096.4 | 申請日： | 2018-08-14 |
| 公開（公告）號： | CN208728136U | 公開（公告）日： | 2019-04-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 汪良恩;汪曦凌 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽安芯電子科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300 | 代理人： | 陳國俊 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 噴淋管 沖洗裝置 噴淋裝置 第一槽 晶圓 自吸 本實用新型 沖洗槽 抽水泵 第二槽 沖洗 側(cè)面設(shè)置 顆粒殘留 噴淋沖洗 傳統(tǒng)的 進(jìn)水口 噴淋孔 噴淋 溢流 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種帶有自吸噴淋裝置的晶圓沖洗裝置，其特征在于：包括沖洗槽、噴淋管和抽水泵，所述沖洗槽共有三個，分別為第一槽、第二槽和第三槽，所述噴淋管設(shè)置于第二槽的頂部，所述噴淋管上開有噴淋孔，所述抽水泵連接噴淋管和第一槽的底部，所述第一槽的側(cè)面設(shè)置有進(jìn)水口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有自吸噴淋裝置的晶圓沖洗裝置，其特征在于：所述第一槽和第二槽的高度相同，所述第三槽的高度比第二槽的高度低。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有自吸噴淋裝置的晶圓沖洗裝置，其特征在于：所述第二槽頂部周邊設(shè)置有噴淋管，噴淋管上設(shè)置有10-20個噴淋孔，所述第二槽底部靠近第三槽一側(cè)開有出水口。
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