[實(shí)用新型]晶圓傳送盒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821303053.0
• 申請(qǐng)日: 2018-08-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208433390U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王豆;蓋晨光;劉家樺;葉日銓
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;董琳

1.一種晶圓傳送盒，其特征在于，包括：

盒體，包括開(kāi)口以及與所述開(kāi)口相對(duì)的后壁；

后壁擋板，位于所述盒體內(nèi)靠近所述后壁設(shè)置，所述后壁擋板上設(shè)置有多個(gè)平行于盒體的底面設(shè)置的卡槽，所述卡槽的槽口朝向所述開(kāi)口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳送盒，其特征在于，還包括：傳動(dòng)裝置，與所述后壁擋板連接，用于移動(dòng)所述后壁擋板的位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓傳送盒，其特征在于，還包括：前門(mén)擋板，所述前門(mén)擋板連接至所述傳動(dòng)裝置，用于通過(guò)前門(mén)擋板的開(kāi)合帶動(dòng)傳動(dòng)裝置來(lái)控制所述后壁擋板的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓傳送盒，其特征在于，當(dāng)所述前門(mén)擋板打開(kāi)時(shí)，傳動(dòng)裝置位于初始位，使得所述后壁擋板與晶圓位置之間具有一定距離；當(dāng)所述前門(mén)擋板關(guān)閉時(shí)，傳動(dòng)裝置帶動(dòng)所述后壁擋板朝向所述開(kāi)口移動(dòng)，使得所述后壁擋板上的卡槽能夠與晶圓完全接觸，使晶圓邊緣置于所述卡槽內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述傳動(dòng)裝置包括：齒輪、第一移動(dòng)臂和第二移動(dòng)臂；所述齒輪可轉(zhuǎn)動(dòng)的固定于所述盒體的底面；沿所述第一移動(dòng)臂和第二移動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向上均設(shè)置有齒紋，所述第一移動(dòng)臂和第二移動(dòng)臂可移動(dòng)的固定于所述齒輪兩側(cè)的盒體的底面且與所述齒輪嚙合；所述第一移動(dòng)臂一端連接至所述后壁擋板，所述第二移動(dòng)臂一端連接至所述前門(mén)擋板。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述前門(mén)擋板上還具有垂直于所述盒體的底面設(shè)置的滑槽，所述第二移動(dòng)臂的一端卡設(shè)于所述滑槽內(nèi)，使得所述前門(mén)擋板可相對(duì)于所述第二移動(dòng)臂在垂直于所述盒體的底面的方向上移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓傳送盒，其特征在于，包括兩組所述傳動(dòng)裝置，分別位于設(shè)置于所述盒體的底面靠近側(cè)壁位置處。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳送盒，其特征在于，所述盒體的側(cè)壁內(nèi)側(cè)設(shè)置有晶圓槽，用于擱置晶圓邊緣；所述后壁擋板上的卡槽與所述晶圓槽位置對(duì)應(yīng)。