[實用新型]一種高純特種氣體的置換面板

有效

• 申請號: 201821301172.2
• 申請日: 2018-08-13
• 公開（公告）號: CN208688755U
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 曹旭峰;朱顏;王陸平;王仕華
• 申請（專利權）人: 全椒南大光電材料有限公司
• 主分類號: G01M3/28
• 分類號: G01M3/28
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124
• 代理人: 王志興

本實用新型公開了一種高純特種氣體的置換面板，涉及高純特種氣體領域，包括連接管、高壓氦氣管、低壓氦氣管、排氣管、抽氣管、高壓氦氣儲存裝置、尾氣處理裝置、真空泵、高壓氦氣閥、減壓閥、低壓氦氣閥、排空閥、隔斷閥；所述高壓氦氣管、低壓氦氣管、排氣管、抽氣管并聯設置，共同連接所述連接管；所述高壓氦氣管、低壓氦氣管均連接所述高壓氦氣儲存裝置，所述高壓氦氣管上設有高壓氦氣閥，所述低壓氦氣管上設有減壓閥和低壓氦氣閥；所述排氣管連接所述尾氣處理裝置，所述排氣管上設有排空閥；所述抽氣管連接所述真空泵；所述連接管上設有第四壓力表和隔斷閥。本實用新型的優點在于：保證產品的純度和工作環境的安全性。

技術領域

本實用新型涉及高純特種氣體領域，尤其涉及一種高純特種氣體的置換面板。

背景技術

作為集成電路產業關鍵原材料的高純特種氣體，不僅在集成電路產業中占有重要的地位，其在太陽能光伏、平面顯示器、化合物半導體器件、石油化工、光纖通訊等領域也都有著不可或缺的作用，廣泛應用在薄膜、摻雜、刻蝕、擴散、氣相沉積等工藝中。隨著科學技術的發展，對于高純特種氣體的品質要求也越來越高，一般對于氣體的純度要求要大于99.9999％，其雜質總濃度不高于1ppm(ppm表示百萬分之一)。

高純特種氣體的運輸是借助鋼瓶等壓力容器，通常將氣體通過管道輸送，盛裝于鋼瓶內。如果連接管道置換不干凈或者存在漏點，則會引入新的雜質，從而使得產品純度無法保證99.9999％；且特種氣體通常具有劇毒、爆炸范圍寬、極易與氧氣反應等特征，這些屬性，讓其在充裝拆接時的置換操作顯得尤其重要，而這一操作的實施載體就是置換面板?，F有的置換面板不便于排除漏點，不能保證整個系統的密閉性。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種能夠保證整個系統的密閉性的高純特種氣體的置換面板。

本實用新型是通過以下技術方案解決上述技術問題的：一種高純特種氣體的置換面板，包括連接管(14)、高壓氦氣管(15)、低壓氦氣管(16)、排氣管(17)、抽氣管(18)、高壓氦氣儲存裝置(19)、尾氣處理裝置(20)、真空泵(21)、高壓氦氣閥(26)、減壓閥(27)、低壓氦氣閥(28)、排空閥(29)、隔斷閥(32)；所述高壓氦氣管(15)、低壓氦氣管(16)、排氣管(17)、抽氣管(18)并聯設置，共同連接所述連接管(14)；所述高壓氦氣管(15)、低壓氦氣管(16)均連接所述高壓氦氣儲存裝置(19)，所述高壓氦氣管(15)上設有高壓氦氣閥(26)，所述低壓氦氣管(16)上設有減壓閥(27)和低壓氦氣閥(28)；所述排氣管(17)連接所述尾氣處理裝置(20)，所述排氣管(17)上設有排空閥(29)；所述抽氣管(18)連接所述真空泵(21)；所述連接管(14)上設有第四壓力表(25)和隔斷閥(32)。置換面板不僅是置換操作的載體，還可以通過第四壓力表對連接的管路系統進行高壓測外漏，排除漏點從而保證整個系統的密閉性。

作為優化的技術方案，所述高壓氦氣管(15)上從所述高壓氦氣儲存裝置(19)到所述連接管(14)之間依次設有第一壓力表(22)和高壓氦氣閥(26)。

作為優化的技術方案，所述低壓氦氣管(16)上從所述高壓氦氣儲存裝置(19)到所述連接管(14)之間依次設有減壓閥(27)、第二壓力表(23)和低壓氦氣閥(28)。

作為優化的技術方案，所述抽氣管(18)上從所述真空泵(21)到所述連接管(14)之間依次設有第一抽空閥(30)、第三壓力表(24)和第二抽空閥(31)?？梢杂糜跍y量閥門是否存在內漏。

作為優化的技術方案，所述高壓氦氣儲存裝置(19)采用高壓氦氣鋼瓶或氦氣集裝格。

作為優化的技術方案，各壓力表均采用數字顯示壓力表。

作為優化的技術方案，各壓力表均連接到自動控制系統。

作為優化的技術方案，各閥門均連接到自動控制系統。