[實用新型]一種高純特種氣體的置換面板

有效

• 申請號: 201821301172.2
• 申請日: 2018-08-13
• 公開（公告）號: CN208688755U
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 曹旭峰;朱顏;王陸平;王仕華
• 申請（專利權）人: 全椒南大光電材料有限公司
• 主分類號: G01M3/28
• 分類號: G01M3/28
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124
• 代理人: 王志興

1.一種高純特種氣體的置換面板，其特征在于：包括連接管(14)、高壓氦氣管(15)、低壓氦氣管(16)、排氣管(17)、抽氣管(18)、高壓氦氣儲存裝置(19)、尾氣處理裝置(20)、真空泵(21)、高壓氦氣閥(26)、減壓閥(27)、低壓氦氣閥(28)、排空閥(29)、隔斷閥(32)；所述高壓氦氣管(15)、低壓氦氣管(16)、排氣管(17)、抽氣管(18)并聯設置，共同連接所述連接管(14)；所述高壓氦氣管(15)、低壓氦氣管(16)均連接所述高壓氦氣儲存裝置(19)，所述高壓氦氣管(15)上設有高壓氦氣閥(26)，所述低壓氦氣管(16)上設有減壓閥(27)和低壓氦氣閥(28)；所述排氣管(17)連接所述尾氣處理裝置(20)，所述排氣管(17)上設有排空閥(29)；所述抽氣管(18)連接所述真空泵(21)；所述連接管(14)上設有第四壓力表(25)和隔斷閥(32)。

2.如權利要求1所述的高純特種氣體的置換面板，其特征在于：所述高壓氦氣管(15)上從所述高壓氦氣儲存裝置(19)到所述連接管(14)之間依次設有第一壓力表(22)和高壓氦氣閥(26)。

3.如權利要求1所述的高純特種氣體的置換面板，其特征在于：所述低壓氦氣管(16)上從所述高壓氦氣儲存裝置(19)到所述連接管(14)之間依次設有減壓閥(27)、第二壓力表(23)和低壓氦氣閥(28)。

4.如權利要求1所述的高純特種氣體的置換面板，其特征在于：所述抽氣管(18)上從所述真空泵(21)到所述連接管(14)之間依次設有第一抽空閥(30)、第三壓力表(24)和第二抽空閥(31)。

5.如權利要求1所述的高純特種氣體的置換面板，其特征在于：所述高壓氦氣儲存裝置(19)采用高壓氦氣鋼瓶或氦氣集裝格。

6.如權利要求1-5任一項所述的高純特種氣體的置換面板，其特征在于：各壓力表均采用數字顯示壓力表。

7.如權利要求1-5任一項所述的高純特種氣體的置換面板，其特征在于：各壓力表均連接到自動控制系統。

8.如權利要求1-5任一項所述的高純特種氣體的置換面板，其特征在于：各閥門均連接到自動控制系統。

9.如權利要求1-5任一項所述的高純特種氣體的置換面板，其特征在于：各閥門均采用氣動隔膜閥。

10.如權利要求1-5任一項所述的高純特種氣體的置換面板，其特征在于：該置換面板的管材、組件均采用不銹鋼。