[實用新型]一種觀察窗及真空腔室

有效

• 申請號: 201821292129.4
• 申請日: 2018-08-10
• 公開（公告）號: CN208869655U
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 王偉
• 申請（專利權）人: 德州易能新能源科技有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52;C23C14/35
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 闞梓瑄;王衛忠

本公開提供一種觀察窗及真空腔室，涉及真空設備技術領域。該觀察窗包括筒體、透明件、氣腔、進氣口和出氣口，筒體具有貫通的第一端和第二端；透明件覆蓋于第一端，且與第一端密封配合氣腔設于筒體的側壁內；進氣口設于筒體的側壁的外表面，且與氣腔連通；出氣口設于筒體的側壁的內表面，且與氣腔連通，出氣口位于第二端靠近透明件的一側。本公開的觀察窗可防止觀察窗內壁形成雜質的堆積，保證觀察效果。

技術領域

本公開涉及真空設備技術領域，具體而言，涉及一種觀察窗及真空腔室。

背景技術

磁控濺射是一種常用的物理氣相沉積工藝，一般用于制造金屬、半導體等材料的薄膜。例如，用于制造薄膜太陽能電池中的背電極等膜層磁控濺射原理為，在真空腔室內，利用高能粒子撞擊靶材，使撞擊出靶材粒子沉積在待形成膜層的基材上。

目前，為了便于觀察真空腔室的內部情況，需要在真空腔室上安裝觀察窗。但是，靶材粒子或其它雜質會在觀察窗內壁堆積，阻擋視線，影響觀察效果。

實用新型內容

本公開的目的在于提供一種觀察窗及真空腔室，可防止觀察窗內壁形成雜質堆積，保證觀察效果。

根據本公開的一個方面，提供一種觀察窗，包括：

筒體，具有貫通的第一端和第二端；

透明件，覆蓋于所述第一端，且與所述第一端密封配合；

氣腔，設于所述筒體的側壁內；

進氣口，設于所述筒體的側壁的外表面，且與所述氣腔連通；

出氣口，設于所述筒體的側壁的內表面，且與所述氣腔連通，所述出氣口位于所述第二端靠近所述透明件的一側。

在本公開的一種示例性實施例中，所述出氣口位于所述進氣口靠近透明件的一側。

在本公開的一種示例性實施例中，所述出氣口的數量為多個。

在本公開的一種示例性實施例中，多個所述出氣口呈環形均勻分布于所述筒體的側壁的內表面。

在本公開的一種示例性實施例中，所述觀察窗還包括：

第一密封圈，密封連接于所述透明件和所述第一端之間。

在本公開的一種示例性實施例中，所述觀察窗還包括：

蓋板，可拆卸地蓋設于所述第一端，且壓覆所述透明件，所述蓋板具有露出所述透明件與所述筒體的貫通區對應的開口。

在本公開的一種示例性實施例中，所述觀察窗還包括：

墊圈，設于所述蓋板和所述透明件之間。

在本公開的一種示例性實施例中，所述第一端的外周設有向外延伸的凸緣。

在本公開的一種示例性實施例中，所述觀察窗還包括：

卡套，可拆卸地套設于所述筒體外，且位于所述凸緣靠近所述第二端的一側。

在本公開的一種示例性實施例中，所述觀察窗還包括：

第二密封圈，設于所述凸緣靠近所述第二端的表面，且環繞所述筒體設置。

根據本公開的一個方面，提供一種真空腔室，包括：

腔室壁，設有窗口；

上述任意一項所述的觀察窗，所述筒體配合穿過所述窗口，且所述第一端延伸至所述腔室壁外，所述第二端延伸至所述腔室壁內。

根據本公開的一個方面，提供一種真空腔室，包括：

腔室壁，設有窗口；