[實用新型]一種觀察窗及真空腔室

有效

• 申請號: 201821292129.4
• 申請日: 2018-08-10
• 公開（公告）號: CN208869655U
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 王偉
• 申請（專利權）人: 德州易能新能源科技有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52;C23C14/35
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 闞梓瑄;王衛忠

1.一種觀察窗，其特征在于，包括：

筒體，具有貫通的第一端和第二端；

透明件，覆蓋于所述第一端，且與所述第一端密封配合；

氣腔，設于所述筒體的側壁內；

進氣口，設于所述筒體的側壁的外表面，且與所述氣腔連通；

出氣口，設于所述筒體的側壁的內表面，且與所述氣腔連通，所述出氣口位于所述第二端靠近所述透明件的一側。

2.根據權利要求1所述的觀察窗，其特征在于，所述出氣口位于所述進氣口靠近透明件的一側。

3.根據權利要求1所述的觀察窗，其特征在于，所述出氣口的數量為多個。

4.根據權利要求3所述的觀察窗，其特征在于，多個所述出氣口呈環形均勻分布于所述筒體的側壁的內表面。

5.根據權利要求1所述的觀察窗，其特征在于，所述觀察窗還包括：

第一密封圈，密封連接于所述透明件和所述第一端之間。

6.根據權利要求1或5所述的觀察窗，其特征在于，所述觀察窗還包括：

蓋板，可拆卸地蓋設于所述第一端，且壓覆所述透明件，所述蓋板具有露出所述透明件與所述筒體的貫通區對應的開口。

7.根據權利要求6所述的觀察窗，其特征在于，所述觀察窗還包括：

墊圈，設于所述蓋板和所述透明件之間。

8.根據權利要求1所述的觀察窗，其特征在于，所述第一端的外周設有向外延伸的凸緣。

9.根據權利要求8所述的觀察窗，其特征在于，所述觀察窗還包括：

卡套，可拆卸地套設于所述筒體外，且位于所述凸緣靠近所述第二端的一側。

10.根據權利要求8所述的觀察窗，其特征在于，所述觀察窗還包括：

第二密封圈，設于所述凸緣靠近所述第二端的表面，且環繞所述筒體設置。

11.一種真空腔室，其特征在于，包括：

腔室壁，設有窗口；

權利要求1-8任一項所述的觀察窗，所述筒體配合穿過所述窗口，且所述第一端延伸至所述腔室壁外，所述第二端延伸至所述腔室壁內。

12.一種真空腔室，其特征在于，包括：

腔室壁，設有窗口；

權利要求9所述的觀察窗，所述筒體配合穿過所述窗口，且所述第一端延伸至所述腔室壁外，所述第二端延伸至所述腔室壁內，所述腔室壁夾持于所述卡套和所述凸緣之間。

13.一種真空腔室，其特征在于，包括：

腔室壁，設有窗口；

權利要求10所述的觀察窗，所述筒體配合穿過所述窗口，且所述第一端延伸至所述腔室壁外，所述第二端延伸至所述腔室壁內，所述第二密封圈夾持于所述凸緣和所述腔室壁之間。