[實用新型]單晶硅晶棒倒角裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821289066.7
• 申請日: 2018-08-10
• 公開（公告）號: CN208556972U
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙延祥;李磊;李英濤;芮陽
• 申請（專利權(quán)）人: 寧夏銀和半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B47/22;B24B47/12;B24B41/06;B24B27/00;B24B49/00;B24B41/00
• 代理公司: 寧夏合天律師事務(wù)所 64103
• 代理人: 孫彥虎

本實用新型提供一種單晶硅晶棒倒角裝置，屬于機械加工技術(shù)領(lǐng)域。包括：底座、晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)及倒角機構(gòu)，所述晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)與所述倒角機構(gòu)設(shè)置于所述底座上。所述晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)用以承載單晶硅晶棒，且使單晶硅晶棒沿軸向緩慢轉(zhuǎn)動。所述倒角機構(gòu)包括X軸滑座、Y軸滑座、角度調(diào)節(jié)盤及砂輪機，所述X軸滑座滑動連接于所述底座上，所述Y軸滑座滑動連接于所述X軸滑座上，以滿足不同長度、不同直徑的單晶硅晶棒的加工需求，所述角度調(diào)節(jié)盤實現(xiàn)對倒角角度的可調(diào)節(jié)。該單晶硅晶棒倒角裝置能滿足不同長度、不同直徑的單晶硅晶棒加工需求，能夠?qū)崿F(xiàn)倒角角度的調(diào)節(jié)，且能夠同時對單晶硅晶棒兩端進行倒角作業(yè)，適用性強。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于機械加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種單晶硅晶棒倒角裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有單晶硅晶棒為圓柱結(jié)構(gòu)，經(jīng)過截斷處理后會形成棱角，棱角結(jié)構(gòu)在磕碰的情況下會形成崩邊，裂晶等不良狀況。由于單晶硅為脆性材料，磕碰時造成的晶錠損失不可估算，且在后端進行切片加工時會造成切片機斷線等不良現(xiàn)象。現(xiàn)有技術(shù)中，公開了部分用以加工圓柱形管材的倒角裝置，然而，多數(shù)倒角裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且倒角轉(zhuǎn)速較快，不能適應(yīng)單晶硅晶棒倒角加工的需求，也無法滿足在單晶硅晶棒倒角加工作業(yè)中，對不同長度、不同直徑的單晶硅硅棒的適應(yīng)性要求和不同倒角角度的要求。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供一種結(jié)構(gòu)簡單且能滿足單晶硅晶棒倒角加工需求的單晶硅晶棒倒角裝置。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種單晶硅晶棒倒角裝置，其特征在于，包括：底座、晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)及倒角機構(gòu)，所述晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)與所述倒角機構(gòu)設(shè)置在所述底座上，且所述晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)與所述倒角機構(gòu)平行設(shè)置；所述晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)承載單晶硅晶棒，并帶動單晶硅晶棒沿軸向轉(zhuǎn)動；所述底座遠離所述晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有條形支撐座，所述倒角機構(gòu)卡合滑動連接于所述條形支撐座；所述倒角機構(gòu)包括垂直方向依次連接的X軸滑座、Y軸滑座、角度調(diào)節(jié)盤及砂輪機，所述X軸滑座卡合滑動連接于所述條形支撐座上，以沿平行所述晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)方向位移，所述Y軸滑座滑動連接于所述X軸滑座上，以沿垂直所述晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)方向位移，所述角度調(diào)節(jié)盤轉(zhuǎn)動連接于所述Y軸滑座上，所述砂輪機固定于所述角度調(diào)節(jié)盤上，轉(zhuǎn)動所述角度調(diào)節(jié)盤，帶動所述砂輪機，以調(diào)整倒角角度。

優(yōu)選地，所述Y軸滑座包括Y軸滑動板及Y軸滑動板定位螺栓，所述Y軸滑動板貫穿開設(shè)有條形滑槽，所述條形滑槽垂直于所述晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)，所述Y軸滑動板定位螺栓貫穿通過所述條形滑槽，以固定所述Y軸滑動板。

優(yōu)選地，所述角度調(diào)節(jié)盤包括角度調(diào)節(jié)板及角度調(diào)節(jié)板定位螺栓，所述角度調(diào)節(jié)板貫穿開設(shè)有圓弧狀調(diào)角滑槽，所述角度調(diào)節(jié)板定位螺栓貫穿通過所述圓弧狀調(diào)角滑槽，以固定所述角度調(diào)節(jié)板。

優(yōu)選地，所述單晶硅晶棒倒角裝置包括兩個結(jié)構(gòu)相同的所述倒角機構(gòu)，兩個所述倒角機構(gòu)分別卡合滑動連接于所述條形支撐座上，以同時對單晶硅晶棒兩端進行倒角作業(yè)。

優(yōu)選地，所述單晶硅晶棒倒角裝置還包括X軸滑座X軸滑座傳動絲桿，所述X軸滑座X軸滑座傳動絲桿設(shè)置于所述底座上，且位于所述X軸滑座的下方，所述X軸滑座X軸滑座傳動絲桿設(shè)置有外螺紋，所述X軸滑座下方設(shè)置有傳動螺母，所述傳動螺母與所述X軸滑座X軸滑座傳動絲桿傳動連接，以推動所述倒角機構(gòu)沿所述條形支撐座位移。

優(yōu)選地，所述晶棒承載轉(zhuǎn)動機構(gòu)包括依次固定于所述底座上的電機、主動晶棒轉(zhuǎn)動滾輪及從動晶棒轉(zhuǎn)動滾輪，所述電機的輸出端傳動連接于所述主動晶棒轉(zhuǎn)動滾輪的一端，所述電機帶動所述主動晶棒轉(zhuǎn)動滾輪轉(zhuǎn)動，所述主動晶棒轉(zhuǎn)動滾輪帶動放置于所述主動晶棒轉(zhuǎn)動滾輪和所述從動晶棒轉(zhuǎn)動滾輪上的單晶硅晶棒沿軸向轉(zhuǎn)動。

優(yōu)選地，所述主動晶棒轉(zhuǎn)動滾輪與所述從動晶棒轉(zhuǎn)動滾輪的外表面均包裹有橡膠墊圈，以增加傳動摩擦力。