[實用新型]單晶硅晶棒倒角裝置

有效

• 申請號: 201821289066.7
• 申請日: 2018-08-10
• 公開（公告）號: CN208556972U
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發明（設計）人: 趙延祥;李磊;李英濤;芮陽
• 申請（專利權）人: 寧夏銀和半導體科技有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B47/22;B24B47/12;B24B41/06;B24B27/00;B24B49/00;B24B41/00
• 代理公司: 寧夏合天律師事務所 64103
• 代理人: 孫彥虎

1.一種單晶硅晶棒倒角裝置，其特征在于，包括：底座、晶棒承載轉動機構及倒角機構，所述晶棒承載轉動機構與所述倒角機構設置在所述底座上，且所述晶棒承載轉動機構與所述倒角機構平行設置；

所述晶棒承載轉動機構承載單晶硅晶棒，并帶動單晶硅晶棒沿軸向轉動；

所述底座遠離所述晶棒承載轉動機構的一側設置有條形支撐座，所述倒角機構卡合滑動連接于所述條形支撐座；

所述倒角機構包括垂直方向依次連接的X軸滑座、Y軸滑座、角度調節盤及砂輪機，所述X軸滑座卡合滑動連接于所述條形支撐座上，以沿平行所述晶棒承載轉動機構方向位移，所述Y軸滑座滑動連接于所述X軸滑座上，以沿垂直所述晶棒承載轉動機構方向位移，所述角度調節盤轉動連接于所述Y軸滑座上，所述砂輪機固定于所述角度調節盤上，轉動所述角度調節盤，帶動所述砂輪機，以調整倒角角度。

2.如權利要求1所述的單晶硅晶棒倒角裝置，其特征在于，所述Y軸滑座包括Y軸滑動板及Y軸滑動板定位螺栓，所述Y軸滑動板貫穿開設有條形滑槽，所述條形滑槽垂直于所述晶棒承載轉動機構，所述Y軸滑動板定位螺栓貫穿通過所述條形滑槽，以固定所述Y軸滑動板。

3.如權利要求2所述的單晶硅晶棒倒角裝置，其特征在于，所述角度調節盤包括角度調節板及角度調節板定位螺栓，所述角度調節板貫穿開設有圓弧狀調角滑槽，所述角度調節板定位螺栓貫穿通過所述圓弧狀調角滑槽，以固定所述角度調節板。

4.如權利要求1或3所述的單晶硅晶棒倒角裝置，其特征在于，包括兩個結構相同的所述倒角機構，兩個所述倒角機構分別卡合滑動連接于所述條形支撐座上，以同時對單晶硅晶棒兩端進行倒角作業。

5.如權利要求4所述的單晶硅晶棒倒角裝置，其特征在于，還包括X軸滑座傳動絲桿，所述X軸滑座傳動絲桿設置于所述底座上，且位于所述X軸滑座的下方，所述X軸滑座傳動絲桿設置有外螺紋，所述X軸滑座下方設置有傳動螺母，所述傳動螺母與所述X軸滑座傳動絲桿傳動連接，以推動所述倒角機構沿所述條形支撐座位移。

6.如權利要求1～3任意一項中所述的單晶硅晶棒倒角裝置，其特征在于，所述晶棒承載轉動機構包括依次固定于所述底座上的電機、主動晶棒轉動滾輪及從動晶棒轉動滾輪，所述電機的輸出端傳動連接于所述主動晶棒轉動滾輪的一端，所述電機帶動所述主動晶棒轉動滾輪轉動，所述主動晶棒轉動滾輪帶動放置于所述主動晶棒轉動滾輪和所述從動晶棒轉動滾輪上的單晶硅晶棒沿軸向轉動。

7.如權利要求6所述的單晶硅晶棒倒角裝置，其特征在于，所述主動晶棒轉動滾輪與所述從動晶棒轉動滾輪的外表面均包裹有橡膠墊圈，以增加傳動摩擦力。

8.如權利要求1所述的單晶硅晶棒倒角裝置，其特征在于，所述底座遠離所述晶棒承載轉動機構的一側設置有相互平行的兩個所述條形支撐座，所述X軸滑座下設置有兩個與所述條形支撐座相匹配的U型滑塊，所述U型滑塊分別卡合滑動連接于所述條形支撐座，以穩定支撐所述倒角機構。

9.如權利要求5所述的單晶硅晶棒倒角裝置，其特征在于，所述X軸滑座傳動絲桿遠離所述倒角機構的一端設置有搖動把手，以便于轉動所述X軸滑座傳動絲桿。

10.如權利要求1～3任意一項中所述的單晶硅晶棒倒角裝置，其特征在于，所述砂輪機為氣動砂輪機或電動砂輪機。