[實(shí)用新型]一種基于固體反射層的溫度補(bǔ)償聲表面波諧振器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821282924.5
• 申請(qǐng)日: 2018-08-09
• 公開（公告）號(hào): CN208063158U
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張樹民;王國(guó)浩;劉建生;汪泉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州左藍(lán)微電子技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H03H9/25
• 分類號(hào): H03H9/25;H03H3/10
• 代理公司: 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11226
• 代理人: 李明

本實(shí)用新型提供了一種基于固體反射層的溫度補(bǔ)償聲表面波諧振器，所述聲表面波諧振器包括基片、位于該基片上方的壓電材料基板以及形成于該壓電材料基板上的叉指結(jié)構(gòu)；在所述基片和所述壓電材料基板之間設(shè)有至少一組反射層組，各組反射層組均包括第一布拉格反射層及位于該第一布拉格反射層上的第二布拉格反射層；所述聲表面波諧振器的頂層設(shè)置有溫度補(bǔ)償結(jié)構(gòu)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種新型溫度補(bǔ)償聲表面波諧振器，特別是涉及一種采用聲表面波與固體反射層組合的諧振器。

背景技術(shù)

隨著無線通訊應(yīng)用的發(fā)展，人們對(duì)于數(shù)據(jù)傳輸速度的要求越來越高。在移動(dòng)通信領(lǐng)域，第一代是模擬技術(shù)，第二代實(shí)現(xiàn)了數(shù)字化語(yǔ)音通信，第三代(3G)以多媒體通信為特征，第四代(4G)將通信速率提高到1Gbps、時(shí)延減小到10ms，第五代(5G)是4G之后的新一代移動(dòng)通信技術(shù)，雖然5G的技術(shù)規(guī)范與標(biāo)準(zhǔn)還沒有完全明確，但與3G、4G相比，其網(wǎng)絡(luò)傳輸速率和網(wǎng)絡(luò)容量將大幅提升。如果說從1G到4G主要解決的是人與人之間的溝通，5G將解決人與人之外的人與物、物與物之間的溝通，即萬物互聯(lián)，實(shí)現(xiàn)“信息隨心至，萬物觸手及”的愿景。

與數(shù)據(jù)率上升相對(duì)應(yīng)的是頻譜資源的高利用率以及通訊協(xié)議的復(fù)雜化。由于頻譜有限，為了滿足數(shù)據(jù)率的需求，必須充分利用頻譜；同時(shí)為了滿足數(shù)據(jù)率的需求，從4G開始還使用了載波聚合技術(shù)，使得一臺(tái)設(shè)備可以同時(shí)利用不同的載波頻譜傳輸數(shù)據(jù)。另一方面，為了在有限的帶寬內(nèi)支持足夠的數(shù)據(jù)傳輸率，通信協(xié)議變得越來越復(fù)雜，因此對(duì)射頻系統(tǒng)的各種性能也提出了嚴(yán)格的需求。

在射頻前端模塊中，射頻濾波器起著至關(guān)重要的作用。它可以將帶外干擾和噪聲濾除以滿足射頻系統(tǒng)和通訊協(xié)議對(duì)于信噪比的需求。隨著通信協(xié)議越來越復(fù)雜，對(duì)頻帶內(nèi)外的要求也越來越高，使得濾波器的設(shè)計(jì)越來越有挑戰(zhàn)。另外，隨著手機(jī)需要支持的頻帶數(shù)目不斷上升，每一款手機(jī)中需要用到的濾波器數(shù)量也在不斷上升。

目前射頻濾波器最主流的實(shí)現(xiàn)方式是聲表面波濾波器和基于薄膜體聲波諧振器技術(shù)的濾波器。薄膜體聲波諧振器主要用于高頻(比如大于2.5GHz的頻段)，制造工藝比較復(fù)雜，成本較高。而聲表面波濾波器主要用于中低頻(比如小于2.5GHz的頻段)，制造工藝相對(duì)比較簡(jiǎn)單，成本相比于薄膜體聲波諧振器要低很多，比較容易受市場(chǎng)接受。

如何提高聲表面波諧振器的頻率和Q值一直是業(yè)界研究的熱點(diǎn)，各種加工制備方式已經(jīng)有很多。在以往的傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)和制備方式中，主要將金屬叉指結(jié)構(gòu)制備在壓電薄膜的基板上，比如鈮酸鋰、鉭酸鋰等壓電薄膜基板。該傳統(tǒng)制備方法對(duì)于壓電薄膜基板的要求非常高，并且即使使用壓電薄膜基板，也并不能完全起到聲波阻擋與反射的作用，從而影響最終聲表面波諧振器的性能。

溫度變化是影響聲表面波諧振器性能的重要因素，如何抑制溫度效應(yīng)，也是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提出了一種基于固體反射層的溫度補(bǔ)償聲表面波諧振器，其特征在于，所述聲表面波諧振器包括基片、位于該基片上方的壓電材料基板以及形成于該壓電材料基板上的叉指結(jié)構(gòu)；在所述基片和所述壓電材料基板之間設(shè)有至少一組反射層組，所述反射層組均包括第一布拉格反射層及位于該第一布拉格反射層上的第二布拉格反射層；所述聲表面波諧振器還包括設(shè)置在其頂層的溫度補(bǔ)償結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地，所述第一布拉格反射層的厚度與第二布拉格反射層的厚度相同或者不同。

進(jìn)一步地，所述第一布拉格反射層的厚度在10μm-1000μm；和/或所述第二布拉格反射層的厚度在10μm-1000μm。

進(jìn)一步地，所述第一布拉格反射層的材料為二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或碳化硅。

進(jìn)一步地，所述第二布拉格反射層的材料為鎢、氮化鋁、氧化鉿、氧化鈦或氧化鉈。

進(jìn)一步地，所述反射層組為2-10組。