[實用新型]一種基于固體反射層的溫度補償聲表面波諧振器

有效

• 申請號: 201821282924.5
• 申請日: 2018-08-09
• 公開（公告）號: CN208063158U
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 張樹民;王國浩;劉建生;汪泉
• 申請（專利權）人: 杭州左藍微電子技術有限公司
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25;H03H3/10
• 代理公司: 北京中知法苑知識產權代理事務所(普通合伙) 11226
• 代理人: 李明

1.一種基于固體反射層的溫度補償聲表面波諧振器，其特征在于，所述聲表面波諧振器包括基片、位于該基片上方的壓電材料基板以及形成于該壓電材料基板上的叉指結構；在所述基片和所述壓電材料基板之間設有至少一組反射層組，所述反射層組均包括第一布拉格反射層及位于該第一布拉格反射層上的第二布拉格反射層；所述聲表面波諧振器還包括設置在其頂層的溫度補償結構。

2.根據權利要求1所述的基于固體反射層的溫度補償聲表面波諧振器，其特征在于，所述第一布拉格反射層的厚度與第二布拉格反射層的厚度相同或者不同。

3.根據權利要求2所述的基于固體反射層的溫度補償聲表面波諧振器，其特征在于，所述第一布拉格反射層的厚度在10μm-1000μm；和/或所述第二布拉格反射層的厚度在10μm-1000μm。

4.根據權利要求2所述的基于固體反射層的溫度補償聲表面波諧振器，其特征在于，所述第一布拉格反射層的材料為二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或碳化硅。

5.根據權利要求2所述的基于固體反射層的溫度補償聲表面波諧振器，其特征在于，所述第二布拉格反射層的材料為鎢、氮化鋁、氧化鉿、氧化鈦或氧化鉈。

6.根據權利要求1所述的基于固體反射層的溫度補償聲表面波諧振器，其特征在于，所述反射層組為2-10組。

7.根據權利要求1所述的基于固體反射層的溫度補償聲表面波諧振器，其特征在于，所述叉指結構的材料為銅、鋁、鉻、銀或鈦；和/或所述叉指結構的厚度為1μm-500μm。

8.根據權利要求1所述的基于固體反射層的溫度補償聲表面波諧振器，其特征在于，所述壓電材料基板的材料為石英、鈮酸鋰或鈦酸鋇；和/或所述壓電材料基板的厚度為50nm-1μm。

9.根據權利要求1所述的基于固體反射層的溫度補償聲表面波諧振器，其特征在于，所述溫度補償結構覆蓋所述叉指結構層。

10.根據權利要求1所述的基于固體反射層的溫度補償聲表面波諧振器，其特征在于，所述溫度補償結構包括單層或多層結構。