[實用新型]共蒸發鍍膜設備

有效

• 申請號: 201821275152.2
• 申請日: 2018-08-08
• 公開（公告）號: CN208803134U
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 徐培明
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 曾章沐

本實用新型提供了一種共蒸發鍍膜設備，涉及太陽能薄膜電池的技術領域，包括工藝處理單元和與其連接的輸入單元、輸出單元，輸入單元與工藝處理單元之間設置有第一隔離門，輸出單元與工藝處理單元之間設置有第二隔離門。輸出單元包括至少兩個相互連接的輸出過渡室，相鄰的兩個輸出過渡室之間均設置有輸出過渡隔離門，位于兩端的輸出過渡室一個與工藝處理單元連接，另一個遠離工藝處理單元。第二隔離門設置于工藝處理單元和與工藝處理單元連接的輸出過渡室之間。真空系統與輸出單元流體連通。該共蒸發鍍膜設備緩解了現有的共蒸發鍍膜設備，輸出腔室頻繁的破真空，對電池組件的光電轉換效率以及鍍膜設備的吞吐量不利的問題。

技術領域

本實用新型涉及太陽能薄膜電池技術領域，尤其是涉及一種共蒸發鍍膜設備。

背景技術

現有技術中，CIGS(太陽能薄膜電池)共蒸發鍍膜設備工作時，產品持續出片，輸出腔室需要不停的開門關門、頻繁的破真空然后再抽真空。而輸出腔室頻繁的破真空抽真空，一方面會使得輸出腔室內真空度的穩定性難以控制，會影響工藝腔的真空度，影響鍍膜工藝的穩定，最終對電池組件的光電轉換效率造成不利影響；另一方面，真空處理會耗費較長時間，會對鍍膜設備的吞吐量產生不利影響。

因此，亟待設計一種新的方案來解決上述技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種共蒸發鍍膜設備，以緩解現有技術中存在的共蒸發鍍膜設備工作時，輸出腔室不停的開門關門、頻繁的破真空然后再抽真空，會對電池組件的光電轉換效率以及鍍膜設備的吞吐量造成不利影響的技術問題。

本實用新型提供的共蒸發鍍膜設備包括輸入單元、工藝處理單元、輸出單元和真空系統，所述輸入單元和所述輸出單元均與所述工藝處理單元連接，且所述輸入單元與所述工藝處理單元之間設置有第一隔離門，所述輸出單元與所述工藝處理單元之間設置有第二隔離門；

所述輸出單元包括至少兩個相互連接的輸出過渡室，相鄰的兩個所述輸出過渡室之間均設置有輸出過渡隔離門，位于兩端的所述輸出過渡室一個與所述工藝處理單元連接，另一個遠離所述工藝處理單元，用于將鍍膜完成的工件輸出至外界環境中；

所述第二隔離門設置于所述工藝處理單元和與所述工藝處理單元連接的所述輸出過渡室之間，遠離所述工藝處理單元的所述輸出過渡室背離所述輸出過渡隔離門的一端設置有第三隔離門；

所述輸出單元與所述真空系統流體連通。

進一步的，所述輸出單元包括相互連接的第一輸出過渡室和第二輸出過渡室，所述第一輸出過渡室與所述工藝處理單元連接，所述第二輸出過渡室用于將鍍膜完成的工件輸出至外界環境中。

進一步的，所述第一輸出過渡室和所述第二輸出過渡室之間連接有中間輸出過渡室。

進一步的，所述輸出單元包括位于外界環境中的出料臺，所述第三隔離門設置于所述第二輸出過渡室與所述出料臺之間。

進一步的，所述輸入單元包括至少兩個相互連接的輸入過渡室，相鄰的兩個所述輸入過渡室之間均設置有輸入過渡隔離門；

位于兩端的所述輸入過渡室一個與所述工藝處理單元連接，另一個遠離所述工藝處理單元，用于外界環境中待鍍膜工件的輸入；所述第一隔離門設置于所述工藝處理單元和與所述工藝處理單元連接的所述輸入過渡室之間，遠離所述工藝處理單元的所述輸入過渡室背離所述第一隔離門的一端設置有第四隔離門。

進一步的，所述輸入單元包括相互連接的第一輸入過渡室和第二輸入過渡室，所述第一輸入過渡室用于外界環境中待鍍膜工件的輸入，所述第二輸入過渡室與所述工藝處理單元連接。

進一步的，所述第一輸入過渡室和所述第二輸入過渡室之間連接有中間輸入過渡室。

進一步的，所述輸入單元包括設置于外界環境中的上料臺，所述第四隔離門設置于所述上料臺與所述第一輸入過渡室之間。