[實用新型]一種新型的LED外延片托盤有效
| 申請號: | 201821268004.8 | 申請日: | 2018-08-07 |
| 公開(公告)號: | CN208460727U | 公開(公告)日: | 2019-02-01 |
| 發明(設計)人: | 潘連勝;潘一鳴;戴偉鵬 | 申請(專利權)人: | 福建精工半導體有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L33/00 |
| 代理公司: | 北京金蓄專利代理有限公司 11544 | 代理人: | 孫巍 |
| 地址: | 362300 福建省泉州市*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 放置槽 外圍 托盤本體 外周 連通 托盤 取片槽 頂面 外沿 互相連通 間隔布置 生產過程 形狀設置 中心處 | ||
1.一種新型的LED外延片托盤,包括托盤本體,其特征在于:所述托盤本體的頂面開設有六個孔徑相當的圓形外圍放置槽以及一個中間放置槽,該中間放置槽的孔徑小于圓形外圍放置槽的孔徑,所述六個圓形外圍放置槽沿著圓周方向分布于中間放置槽的外圍,每個圓形外圍放置槽的外周上設有間隔布置的三個切口,該三個切口其中一個為外沿切口,其余兩個切口為連通切口,所述外沿切口靠近托盤本體的外周,相鄰的兩連通切口互相連通,所述圓形外圍放置槽的外周設有與其連通的取片槽,該取片槽靠近托盤本體的中心處。
2.如權利要求1所述的一種新型的LED外延片托盤,其特征在于:所述外沿切口的兩端均通過第一圓弧部與托盤本體的外周連接,相鄰的兩連通切口的兩端通過第二圓弧部連接。
3.如權利要求1所述的一種新型的LED外延片托盤,其特征在于:所述托盤本體的厚度為1.2mm,所述圓形外圍放置槽及中間放置槽的深度為0.6mm。
4.如權利要求1所述的一種新型的LED外延片托盤,其特征在于:所述托盤本體由單晶硅制成。
5.如權利要求1所述的一種新型的LED外延片托盤,其特征在于:所述取片槽為圓弧形取片槽。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





