[實用新型]氮化鋁單晶生長用坩堝蓋有效
| 申請號: | 201821261322.1 | 申請日: | 2018-08-07 |
| 公開(公告)號: | CN208917342U | 公開(公告)日: | 2019-05-31 |
| 發明(設計)人: | 王曉丹;陳飛飛;毛紅敏;李祥;葛麗娟 | 申請(專利權)人: | 蘇州科技大學 |
| 主分類號: | C30B29/40 | 分類號: | C30B29/40;C30B23/00 |
| 代理公司: | 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103 | 代理人: | 王健 |
| 地址: | 215009 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 固定腳架 坩堝蓋 本實用新型 氮化鋁單晶 折彎部 襯底 設計結構 生長過程 隱患問題 折彎部位 主體形狀 圓心 高溫膠 夾角為 碳污染 下表面 掉落 生長 下端 穩固 | ||
1.一種氮化鋁單晶生長用坩堝蓋,其特征在于:包括坩堝蓋主體(1)、至少2個固定腳架(2),所述固定腳架(2)固定于坩堝蓋主體(1)的下表面,所述固定腳架的下端具有一折彎部(3),此折彎部(3)與固定腳架(2)的夾角為90°,所述固定腳架(2)的折彎部(3)位于朝向圓心的一側。
2.根據權利要求1所述的氮化鋁單晶生長用坩堝蓋,其特征在于:所述坩堝蓋主體(1)形狀為圓形。
3.根據權利要求1所述的氮化鋁單晶生長用坩堝蓋,其特征在于:所述固定腳架(2)的數目為3個,其中2個相向設置,剩余一個設置于2個固定腳架(2)之間。
4.根據權利要求1所述的氮化鋁單晶生長用坩堝蓋,其特征在于:所述固定腳架(2)設置于坩堝蓋主體(1)的邊緣區域。
5.根據權利要求1所述的氮化鋁單晶生長用坩堝蓋,其特征在于:所述固定腳架(2)相互成90°夾角分布。
6.根據權利要求1所述的氮化鋁單晶生長用坩堝蓋,其特征在于:所述至少2個固定腳架(2)的形狀相同。
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