[實用新型]靜電式氣浮平臺

有效

• 申請號: 201821257961.0
• 申請日: 2018-08-06
• 公開（公告）號: CN208716401U
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 陳裕民
• 申請（專利權）人: 御杰科技有限公司
• 主分類號: B65G54/00
• 分類號: B65G54/00
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 關宇辰

一種靜電式氣浮平臺，用以供一基板浮在該平臺上方，包括一基座、以及一靜電結構，基座具有一工作表面，且工作表面上設有多個氣浮孔，靜電結構分布設置于工作表面上并裸露出各氣浮孔；其中，各氣浮孔用以對所述基板提供正向力，而靜電結構則于通電產生靜電并對所述基板提供由靜電造成的負向力。借由靜電吸力形成的負向力而與正向力對所述基板產生的浮力作平衡。

技術領域

本實用新型與一種加工設備有關，尤指一種靜電式氣浮平臺。

背景技術

以往在對于如玻璃等制品的基板加工作業上，主要通過一可提供氣浮作用的平臺對基板進行承載或運送等作業，并在以氣浮承載的狀態下進行加工及檢測等。而傳統此種氣浮平臺，通常于平臺的表面設有多個氣孔，并以氣壓吹氣后使其表面形成一由空氣形成的氣墊層，借由該氣墊層提供基板向上的浮力，從而便于前述的加工作業。

然而，由于單向地以向上氣浮力對基板進行吹浮，往往造成空氣在接觸基板后使多余的空氣影響基板的平穩性。因此，亦有通過雙向氣流的方式改善的問題，意即于平臺上設置反向氣孔，而前述氣孔為正向并提供正向力，反向氣孔則提供負向力，故可借由負向力將多余的空氣快速吸出氣墊層外，以避免影響基板的穩定。

但由于上述正向氣孔與反向氣孔同時于平臺表面上提供作用，且一吹一吸的情況下容易造成彼此間的能量耗損，故在節能的考量下較不盡理想。

實用新型內容

本實用新型的主要目的，在于可提供一種靜電式氣浮平臺，其通過靜電場的吸附力對欲加工的基板提供負向力，進而減緩基板于因受正向力的碰撞而晃動的幅度，借以使基板在承受浮力時更為平穩，并可調整吹浮高度。

本實用新型的另一目的，在于可提供一種靜電式氣浮平臺，由于以靜電場的吸附力產生負向力，因此不會對以氣壓為主的正向力造成影響，故正向力無能量損耗的問題。

為了達成上述的目的，本實用新型提供一種靜電式氣浮平臺，用以供一基板浮在該平臺上方，包括一基座、以及一靜電結構，基座具有一工作表面，且工作表面上設有多個氣浮孔，靜電結構分布設置于工作表面上并裸露出各氣浮孔；其中，各氣浮孔用以對所述基板提供正向力，而靜電結構則于通電產生靜電并對所述基板提供由靜電造成的負向力。

其中，該靜電結構由多個具有電介質的電子回路構成。

其中，所述電介質為陶瓷、有機材料或陽極氧化層。

其中，各所述氣浮孔呈多排的排列于該工作表面上，且各所述電子回路則呈片狀地介于各排的所述氣浮孔之間。

其中，該基座的工作表面上凹設多個對應這些電子回路的埋槽，且這些電子回路分別埋設于各所述埋槽內。

其中，這些電子回路直接貼覆于該基座的工作表面上。

其中，該基座具有一延伸段，且該延伸段上亦設有氣浮孔及靜電結構。

其中，該延伸段上的該靜電結構配置于該延伸段兩個外側處并沿其長度方向延伸，而該延伸段上的這些氣浮孔則配置于內側并沿長度方向排列。

其中，該延伸段上的該靜電結構配置于該延伸段中間處并沿其長度方向延伸，而該延伸段上的這些氣浮孔則配置于兩側處沿并沿長度方向排列。

其中，該靜電結構由陶瓷、有機材料或陽極氧化層構成層狀體，并披覆于該基座的工作表面上。

本實用新型的靜電式氣浮平臺借由靜電吸力形成的負向力而與正向力對所述基板產生的浮力作平衡。

附圖說明

圖1為本實用新型第一實施例的立體分解示意圖。

圖2為本實用新型第一實施例的使用狀態示意圖。

圖3為本實用新型第一實施例于使用狀態的斷面剖視圖。