[實用新型]靜電式氣浮平臺有效
| 申請號： | 201821257961.0 | 申請日： | 2018-08-06 |
| 公開（公告）號： | CN208716401U | 公開（公告）日： | 2019-04-09 |
| 發明（設計）人： | 陳裕民 | 申請（專利權）人： | 御杰科技有限公司 |
| 主分類號： | B65G54/00 | 分類號： | B65G54/00 |
| 代理公司： | 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228 | 代理人： | 關宇辰 |
| 地址： | 中國臺灣新竹縣竹東*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基板 工作表面 靜電結構 氣浮孔 氣浮平臺 靜電 靜電式 正向力 負向 分布設置 靜電吸力 浮力 通電 平衡 | ||
1.一種靜電式氣浮平臺，用以供一基板浮在平臺上方，其特征在于，包括：
一基座，具有一工作表面，且該工作表面上設有多個氣浮孔；以及
一靜電結構，設置于該工作表面上并裸露這些氣浮孔；
其中，這些氣浮孔用以對所述基板提供正向力，而該靜電結構則于通電產生靜電并對所述基板提供由靜電造成的負向力。
2.如權利要求1所述的靜電式氣浮平臺，其特征在于，該靜電結構由多個具有電介質的電子回路構成。
3.如權利要求2所述的靜電式氣浮平臺，其特征在于，所述電介質為陶瓷、有機材料或陽極氧化層。
4.如權利要求3所述的靜電式氣浮平臺，其特征在于，各所述氣浮孔呈多排的排列于該工作表面上，且各所述電子回路則呈片狀地介于各排的所述氣浮孔之間。
5.如權利要求3所述的靜電式氣浮平臺，其特征在于，該基座的工作表面上凹設多個對應這些電子回路的埋槽，且這些電子回路分別埋設于各所述埋槽內。
6.如權利要求3所述的靜電式氣浮平臺，其特征在于，這些電子回路直接貼覆于該基座的工作表面上。
7.如權利要求1至6中任一項所述的靜電式氣浮平臺，其特征在于，該基座具有一延伸段，且該延伸段上亦設有氣浮孔及靜電結構。
8.如權利要求7所述的靜電式氣浮平臺，其特征在于，該延伸段上的該靜電結構配置于該延伸段兩個外側處并沿其長度方向延伸，而該延伸段上的這些氣浮孔則配置于內側并沿長度方向排列。
9.如權利要求7所述的靜電式氣浮平臺，其特征在于，該延伸段上的該靜電結構配置于該延伸段中間處并沿其長度方向延伸，而該延伸段上的這些氣浮孔則配置于兩側處沿并沿長度方向排列。
10.如權利要求1所述的靜電式氣浮平臺，其特征在于，該靜電結構由陶瓷、有機材料或陽極氧化層構成層狀體，并披覆于該基座的工作表面上。
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