[實用新型]具有自清洗功能的排氣切換裝置

有效

• 申請號: 201821246946.6
• 申請日: 2018-08-03
• 公開（公告）號: CN208433383U
• 公開（公告）日: 2019-01-25
• 發明（設計）人: 袁林濤;高英哲;葉日銓;劉家樺
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種具有自清洗功能的排氣切換裝置，其特征在于，包括：

排氣切換箱，所述排氣切換箱上設有進氣口、多個排氣口、進水口和排水口，所述進氣口和多個所述排氣口位于所述排氣切換箱的不同側，所述排水口位于所述排氣切換箱的底部；清洗管路，所述清洗管路一端連接至一清洗液體源，另一端通過所述進水口延伸到所述排氣切換箱的內部；

排氣擋板，位于所述排氣切換箱的內部，且位于所述排氣口所在的同一側；

驅動器，位于所述排氣切換箱的外部，所述驅動器與所述排氣擋板相連接，以驅動所述排氣擋板于多個所述排氣口之間移動。

2.根據權利要求1所述的排氣切換裝置，其特征在于：所述清洗管路包括徑向管路、橫向管路和多個噴嘴，所述徑向管路一端連接至所述清洗液體源，另一端通過所述進水口延伸到所述排氣切換箱的內部且與所述橫向管路相連接，所述橫向管路沿所述排氣口所在的側壁的橫向分布，多個所述噴嘴位于所述橫向管路上且所述噴嘴的開口朝向所述排氣口所在的側壁。

3.根據權利要求2所述的排氣切換裝置，其特征在于：所述清洗管路還包括輔助連接管路，所述輔助連接管路連接于所述徑向管路和所述橫向管路之間。

4.根據權利要求2所述的排氣切換裝置，其特征在于：所述噴嘴包括錐形噴嘴、矩形噴嘴、扇形噴嘴或柱形噴嘴。

5.根據權利要求2至4任一項所述的排氣切換裝置，其特征在于：所述噴嘴位于所述排氣口的上方。

6.根據權利要求1所述的排氣切換裝置，其特征在于：所述驅動器包括氣缸。

7.根據權利要求1所述的排氣切換裝置，其特征在于：所述進氣口和所述排氣口位于所述排氣切換箱的相對兩側的側壁上，所述進水口位于所述排氣切換箱的頂部。

8.根據權利要求1所述的排氣切換裝置，其特征在于：所述排氣切換裝置還包括流量調節閥，所述流量調節閥位于所述清洗管路上且位于所述排氣切換箱的外部。

9.根據權利要求1所述的排氣切換裝置，其特征在于：所述排氣口的數量為2個。

10.根據權利要求1所述的排氣切換裝置，其特征在于：所述排氣擋板上還設有密封圈，所述密封圈位于所述排氣擋板與所述排氣口相接觸的表面上。