[實(shí)用新型]一種高純鉻圓靶有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821242979.3 | 申請(qǐng)日： | 2018-08-02 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN208748189U | 公開（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 齊寶明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 陜西中北泰鉭鈮金屬材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23C14/35 | 分類號(hào)： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 11429 | 代理人： | 石淑珍 |
| 地址： | 721000 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 圓靶 銅背板 圓柱段 高純鉻 外螺紋 圓柱形空腔 內(nèi)螺紋 本實(shí)用新型 圓臺(tái)型結(jié)構(gòu) 圓柱形結(jié)構(gòu) 側(cè)面設(shè)置 工藝程序 配合連接 裝配方便 外側(cè)面 綁定 底面 釬焊 圓槽 側(cè)面 | ||
1.一種高純鉻圓靶，其特征在于，所述高純鉻圓靶采用高純鉻材料制成，所述高純鉻圓靶包括鉻圓靶主體(1)、銅背板(2)，所述鉻圓靶主體(1)為圓臺(tái)型結(jié)構(gòu)，所述鉻圓靶主體(1)包括第一圓柱段(11)、第二圓柱段(12)，所述第一圓柱段(11)的直徑小于第二圓柱段(12)的直徑，所述第一圓柱段(11)側(cè)面具有第一外螺紋(13)，所述第二圓柱段(12)底面設(shè)置有圓槽(14)，所述銅背板(2)為圓柱形結(jié)構(gòu)，所述銅背板(2)外側(cè)面設(shè)置有第二外螺紋(21)，所述銅背板(2)底部設(shè)置有圓柱形空腔，所述銅背板(2)沿圓柱形空腔側(cè)面設(shè)置有內(nèi)螺紋(22)，所述第一外螺紋(13)與內(nèi)螺紋(22)尺寸相匹配，所述鉻圓靶主體(1)的第一外螺紋(13)與銅背板(2)的內(nèi)螺紋(22)配合連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種高純鉻圓靶，其特征在于，所述第二圓柱段(12)的直徑為55mm、高度為30mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種高純鉻圓靶，其特征在于，所述銅背板(2)上端部設(shè)置有倒角。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
