[實用新型]一種物理氣相沉積設備

有效

• 申請號: 201821238930.0
• 申請日: 2018-08-02
• 公開（公告）號: CN208604196U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 陳金海;劉濤;金勇超;梁文勇
• 申請（專利權）人: 科匯納米技術（常州）有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C14/50;C23C14/54
• 代理公司: 南京禾易知識產權代理有限公司 32320
• 代理人: 王彩君

1.一種物理氣相沉積設備，包括氣相沉積箱(1)和蒸鍍器(9)，其特征在于：所述氣相沉積箱(1)上部的兩側對應豎直安裝有兩組驅動電機(7)，兩組所述驅動電機(7)的輸出軸末端對應連接兩根絲桿(6)的頂端，兩根所述絲桿(6)的外部對應通過兩根連接桿(5)連接托架(4)兩側的中部，所述氣相沉積箱(1)外部一側的下部安裝有真空泵(2)，所述氣相沉積箱(1)的底部水平安裝有導軌(10)，所述導軌(10)的上部安裝移動小車(8)，所述移動小車(8)的上部豎直安裝有蒸鍍器(9)，所述氣相沉積箱(1)頂部開口的上部滑動安裝有活動門(3)，所述蒸鍍器(9)包括密封箱(91)、蒸發物(92)、加熱電阻絲(93)、導筒(94)、連接筒(95)、出氣口(96)和導流板(97)，所述密封箱(91)底板的中部放置有蒸發物(92)，所述密封箱(91)兩側開設的凹槽內對應安裝有加熱電阻絲(93)，所述密封箱(91)頂部開口的上部焊接有導筒(94)，所述導筒(94)的上部連接有連接筒(95)，所述連接筒(95)的頂端水平焊接有出氣口(96)，所述出氣口(96)的上部水平安裝有導流板(97)。

2.根據權利要求1所述的一種物理氣相沉積設備，其特征在于：所述蒸鍍器(9)還包括轉動電機(98)，所述轉動電機(98)的輸出軸末端安裝有齒輪嚙合連接筒(95)外側開設的齒槽。

3.根據權利要求1所述的一種物理氣相沉積設備，其特征在于：所述連接筒(95)下部的外表面安裝有密封圈且密封圈外緣與導筒(94)內側接觸，所述導筒(94)內部的兩側對應安裝有兩組電阻絲。

4.根據權利要求1所述的一種物理氣相沉積設備，其特征在于：所述導流板(97)包括弧形板(971)、氣缸(972)和支桿(973)，兩片所述弧形板(971)的中部對應通過兩根支桿(973)轉動連接出氣口(96)的兩側，兩片所述弧形板(971)的底部對應轉動連接兩組氣缸(972)的活塞桿末端，兩組所述氣缸(972)的底端對應通過兩片固定片連接出氣口(96)底部兩側。

5.根據權利要求1所述的一種物理氣相沉積設備，其特征在于：所述真空泵(2)頂部的接口連接輸氣管(11)的一端，所述輸氣管(11)的另一端連通氣相沉積箱(1)的內部。

6.根據權利要求1所述的一種物理氣相沉積設備，其特征在于：兩根所述連接桿(5)的底端焊接固定于托架(4)的兩側，兩根所述連接桿(5)的頂端通過焊接的絲桿螺母螺紋對應連接兩根絲桿(6)。

7.根據權利要求1所述的一種物理氣相沉積設備，其特征在于：兩根所述絲桿(6)底端對應轉動連接氣相沉積箱(1)的側壁，所述氣相沉積箱(1)頂部的開口上部安裝有密封圈。