[實(shí)用新型]一種帶球面光源的半導(dǎo)體集成電路中測(cè)用針卡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821234565.6
• 申請(qǐng)日: 2018-08-02
• 公開（公告）號(hào): CN208654209U
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王萃東;常兵;施明明;孔令豐;杭曉宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇七維測(cè)試技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/067
• 分類號(hào): G01R1/067;G01R1/02
• 代理公司: 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 趙海波;曹鍵

本實(shí)用新型涉及的一種帶球面光源的半導(dǎo)體集成電路中測(cè)用針卡，包括針卡，所述針卡中心點(diǎn)處設(shè)置有探針孔，所述針卡上方設(shè)置有固定架，固定架上開設(shè)有圓孔，圓孔位于探針孔的正上方，所述圓孔內(nèi)設(shè)置有乒乓球，乒乓球橫向中軸線與平板表面位于同一水平線上，所述乒乓球內(nèi)腔中設(shè)置有點(diǎn)光源。本實(shí)用新型將點(diǎn)光源與乒乓球合二為一，制作成特殊的球面光源，乒乓球的球表面使得點(diǎn)光源的發(fā)射效果好，光照均勻，能夠滿足多芯片同時(shí)測(cè)試，且每個(gè)芯片上的光照量相同，保證各芯片間的測(cè)試一致性，從而有效提高測(cè)試效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種帶球面光源的半導(dǎo)體集成電路中測(cè)用針卡。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主要由設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測(cè)試幾部分組成。中測(cè)是半導(dǎo)體后道封裝測(cè)試的第一站，中測(cè)有很多個(gè)名稱，比如針測(cè)、晶圓測(cè)試等。中測(cè)的目的是將硅片中不良的芯片挑選出來(lái)，所用到的設(shè)備有測(cè)試機(jī)、探針卡、探針臺(tái)以及測(cè)試機(jī)與探針卡之間的接口。中測(cè)的關(guān)鍵點(diǎn)在于探針卡和接口這兩部分，這也是制約國(guó)內(nèi)中測(cè)水平的難點(diǎn)所在。

隨著半導(dǎo)體測(cè)試行業(yè)的飛速發(fā)展，人們對(duì)測(cè)試效率的要求也不斷提高。以往，由于光敏芯片對(duì)光線要求較高，因此只能在相同光照條件下進(jìn)行單芯片測(cè)試，測(cè)試效率較低。因此，要想提高測(cè)試效率必然要壓縮測(cè)試時(shí)間，而壓縮測(cè)試時(shí)間的最有效方法就是實(shí)現(xiàn)多芯片能夠同時(shí)測(cè)試。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種能夠同時(shí)測(cè)試多芯片，提高測(cè)試效率的帶球面光源的半導(dǎo)體集成電路中測(cè)用針卡。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種帶球面光源的半導(dǎo)體集成電路中測(cè)用針卡，包括針卡，所述針卡中心點(diǎn)處設(shè)置有探針孔，其特點(diǎn)是：所述針卡上方設(shè)置有固定架，固定架上開設(shè)有圓孔，圓孔位于探針孔的正上方，所述圓孔內(nèi)設(shè)置有乒乓球，乒乓球橫向中軸線與平板表面位于同一水平線上，所述乒乓球內(nèi)腔中設(shè)置有點(diǎn)光源。

更進(jìn)一步的，所述圓孔直徑略小于乒乓球直徑。

更進(jìn)一步的，所述乒乓球頂端開設(shè)有直徑為1cm的小孔。

更進(jìn)一步的，所述乒乓球底端與針卡上表面之間距離為2cm。

更進(jìn)一步的，所述固定架包括一塊矩形平板和四根立柱，所述平板與針卡平行，立柱與針卡垂直，所述立柱設(shè)置于平板與針卡之間，四根立柱頂端分別與平板底面的四角固定連接，四根立柱底端與針卡上表面固定連接，所述平板中心點(diǎn)處開設(shè)有圓孔。

更進(jìn)一步的，所述探針孔為橢圓狀，探針孔長(zhǎng)軸尺寸設(shè)置為3-4cm，短軸尺寸設(shè)置為1-2cm。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

1.本實(shí)用新型一種帶球面光源的半導(dǎo)體集成電路中測(cè)用針卡，將點(diǎn)光源與乒乓球合二為一，制作成特殊的球面光源，并設(shè)置于針卡的探針孔的正上方，乒乓球的球表面使得點(diǎn)光源的發(fā)射效果好，光照均勻，能夠滿足多芯片同時(shí)測(cè)試，且每個(gè)芯片上的光照量相同，保證各芯片間的測(cè)試一致性，從而有效提高測(cè)試效率；

2.本實(shí)用新型較市場(chǎng)上的球面光源而言，其成本低，體積小、質(zhì)量輕，不會(huì)對(duì)針壓有影響，測(cè)試機(jī)的電源能直接驅(qū)動(dòng)；

3.乒乓球更換拆裝方便，不會(huì)影響測(cè)試過程中對(duì)探針的清理。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型一種帶球面光源的半導(dǎo)體集成電路中測(cè)用針卡的正視圖。

圖2為本實(shí)用新型一種帶球面光源的半導(dǎo)體集成電路中測(cè)用針卡的左視圖。

圖3為本實(shí)用新型一種帶球面光源的半導(dǎo)體集成電路中測(cè)用針卡的俯視圖。

其中：

針卡1

探針孔2