[實用新型]一種帶球面光源的半導體集成電路中測用針卡

有效

• 申請號: 201821234565.6
• 申請日: 2018-08-02
• 公開（公告）號: CN208654209U
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 王萃東;常兵;施明明;孔令豐;杭曉宇
• 申請（專利權）人: 江蘇七維測試技術有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/02
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 趙海波;曹鍵

1.一種帶球面光源的半導體集成電路中測用針卡，包括針卡(1)，所述針卡(1)中心點處設置有探針孔(2)，其特征在于：所述針卡(1)上方設置有固定架，固定架上開設有圓孔，圓孔位于探針孔(2)的正上方，所述圓孔內設置有乒乓球(5)，乒乓球(5)橫向中軸線與平板(3)表面位于同一水平線上，所述乒乓球(5)內腔中設置有點光源。

2.根據權利要求1所述的一種帶球面光源的半導體集成電路中測用針卡，其特征在于：所述圓孔直徑略小于乒乓球(5)直徑。

3.根據權利要求1所述的一種帶球面光源的半導體集成電路中測用針卡，其特征在于：所述乒乓球(5)頂端開設有直徑為1cm的小孔。

4.根據權利要求1所述的一種帶球面光源的半導體集成電路中測用針卡，其特征在于：所述乒乓球(5)底端與針卡(1)上表面之間距離為2cm。

5.根據權利要求1所述的一種帶球面光源的半導體集成電路中測用針卡，其特征在于：所述固定架包括一塊矩形平板(3)和四根立柱(4)，所述平板(3)與針卡(1)平行，立柱(4)與針卡(1)垂直，所述立柱(4)設置于平板(3)與針卡(1)之間，四根立柱(4)頂端分別與平板(3)底面的四角固定連接，四根立柱(4)底端與針卡(1)上表面固定連接，所述平板(3)中心點處開設有圓孔。

6.根據權利要求1所述的一種帶球面光源的半導體集成電路中測用針卡，其特征在于：所述探針孔(2)為橢圓狀，探針孔(2)長軸尺寸設置為3-4cm，短軸尺寸設置為1-2cm。