[實用新型]一種內(nèi)設風刀的半導體濕式制程用槽體有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821231837.7 | 申請日： | 2018-08-01 |
| 公開（公告）號： | CN208608174U | 公開（公告）日： | 2019-03-15 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李聰盛;陳琮岳 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽宏實自動化裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京和信華成知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡劍輝 |
| 地址： | 230001 安徽省合*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 槽體 蓋板 出氣管 風刀 左壁 底面 本實用新型 濕式制程 安裝板 出氣口 支撐桿 半導體 密封圈 螺栓 二次污染 蓋板底面 水氣凝結(jié) 向上傾斜 工作臺 水氣 加裝 排出 氣簾 水刀 加工 潔凈 一體化 移動 保證 | ||
1.一種內(nèi)設風刀的半導體濕式制程用槽體，包括槽體(1)，其特征在于，所述槽體(1)的上方設有蓋板(2)，所述蓋板(2)與槽體(1)一體化，所述蓋板(2)的底面右端固定安裝有風刀(3)，所述槽體(1)的左壁處開設有出氣口(4)，所述出氣口(4)的左側(cè)設有出氣管(5)，所述出氣管(5)的上下側(cè)固定安裝有安裝板(6)，所述安裝板(6)通過螺栓(7)與槽體(1)左壁固定連接，所述出氣管(5)的底面固定安裝有支撐桿(8)，所述支撐桿(8)的一端固定安裝在槽體(1)左壁處，所述槽體(1)底部設有工作臺(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種內(nèi)設風刀的半導體濕式制程用槽體，其特征在于，所述蓋板(2)左側(cè)向上傾斜，所述蓋板(2)傾斜角度為十五度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種內(nèi)設風刀的半導體濕式制程用槽體，其特征在于，所述風刀(3)的出風口出風方向與蓋板(2)底面平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種內(nèi)設風刀的半導體濕式制程用槽體，其特征在于，所述出氣管(5)與槽體(1)左壁的連接處設有密封圈(10)。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
