[實(shí)用新型]一種內(nèi)設(shè)風(fēng)刀的半導(dǎo)體濕式制程用槽體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821231837.7
• 申請日: 2018-08-01
• 公開（公告）號: CN208608174U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李聰盛;陳琮岳
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽宏實(shí)自動化裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京和信華成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

本實(shí)用新型公開了一種內(nèi)設(shè)風(fēng)刀的半導(dǎo)體濕式制程用槽體，包括槽體，所述槽體的上方設(shè)有蓋板，所述蓋板與槽體一體化，所述蓋板的底面右端固定安裝有風(fēng)刀，所述槽體的左壁處開設(shè)有出氣口，所述出氣口的左側(cè)設(shè)有出氣管，所述出氣管的上下側(cè)固定安裝有安裝板，所述安裝板通過螺栓與槽體左壁固定連接，所述出氣管的底面固定安裝有支撐桿，所述支撐桿的一端固定安裝在槽體左壁處，所述槽體底部設(shè)有工作臺，所述蓋板左側(cè)向上傾斜，所述出氣管與槽體左壁的連接處設(shè)有密封圈，本實(shí)用新型通過在蓋板的底面加裝風(fēng)刀，從而形成氣簾，防止水刀加工產(chǎn)生的水氣凝結(jié)在蓋板底面并回滴造成二次污染，并帶動水氣移動通過出氣管排出，保證了加工環(huán)境的潔凈。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體濕式制程設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種內(nèi)設(shè)風(fēng)刀的半導(dǎo)體濕式制程用槽體。

背景技術(shù)

目前濕式制程機(jī)臺因制程過程中，水刀噴灑會產(chǎn)生水氣，這些水氣上升并凝結(jié)于槽體蓋板底面處，經(jīng)過累積后容易回滴到槽內(nèi)從而對加工環(huán)境造成二次污染，進(jìn)而影響產(chǎn)品的質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述的技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種內(nèi)設(shè)風(fēng)刀的半導(dǎo)體濕式制程用槽體，通過在蓋板的底面加裝風(fēng)刀，從而形成氣簾，防止水刀加工產(chǎn)生的水氣凝結(jié)在蓋板底面并回滴造成二次污染，并帶動水氣移動通過出氣管排出，保證了加工環(huán)境的潔凈。

本實(shí)用新型的目的可以通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種內(nèi)設(shè)風(fēng)刀的半導(dǎo)體濕式制程用槽體，包括槽體，所述槽體的上方設(shè)有蓋板，所述蓋板與槽體一體化，所述蓋板的底面右端固定安裝有風(fēng)刀，所述槽體的左壁處開設(shè)有出氣口，所述出氣口的左側(cè)設(shè)有出氣管，所述出氣管的上下側(cè)固定安裝有安裝板，所述安裝板通過螺栓與槽體左壁固定連接，所述出氣管的底面固定安裝有支撐桿，所述支撐桿的一端固定安裝在槽體左壁處，所述槽體底部設(shè)有工作臺。

進(jìn)一步地，所述蓋板左側(cè)向上傾斜，所述蓋板傾斜角度為十五度。

進(jìn)一步地，所述風(fēng)刀的出風(fēng)口出風(fēng)方向與蓋板底面平行。

進(jìn)一步地，所述出氣管與槽體左壁的連接處設(shè)有密封圈。

本實(shí)用新型的有益效果：

本實(shí)用新型通過在蓋板的底面加裝風(fēng)刀，從而形成氣簾，有效防止水刀加工產(chǎn)生的水氣凝結(jié)在蓋板底面并回滴造成二次污染；通過風(fēng)刀帶動水氣移動穿過出風(fēng)口并通過出氣管排出，保證了加工環(huán)境的潔凈。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。

圖1是本實(shí)用新型一種內(nèi)設(shè)風(fēng)刀的半導(dǎo)體濕式制程用槽體的立體結(jié)構(gòu)圖；

圖2是本實(shí)用新型一種內(nèi)設(shè)風(fēng)刀的半導(dǎo)體濕式制程用槽體的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

如圖1-2所示，一種內(nèi)設(shè)風(fēng)刀的半導(dǎo)體濕式制程用槽體，包括槽體1，所述槽體1的上方設(shè)有蓋板2，所述蓋板2與槽體1一體化，所述蓋板2的底面右端固定安裝有風(fēng)刀3，所述槽體1的左壁處開設(shè)有出氣口4，所述出氣口4的左側(cè)設(shè)有出氣管5，所述出氣管5的上下側(cè)固定安裝有安裝板6，所述安裝板6通過螺栓7與槽體1左壁固定連接，所述出氣管5的底面固定安裝有支撐桿8，所述支撐桿8的一端固定安裝在槽體1左壁處，所述槽體1底部設(shè)有工作臺9。

進(jìn)一步地，所述蓋板2左側(cè)向上傾斜，所述蓋板2傾斜角度為十五度，使槽體1上部形成足夠的吹風(fēng)空間。