[實用新型]一種用于制造半導(dǎo)體陶瓷片的沖片機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821216456.1
• 申請日: 2018-07-30
• 公開（公告）號: CN209224254U
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田茂標(biāo);劉瑞生;成彪;周富;陳書生
• 申請（專利權(quán)）人: 成都萬士達瓷業(yè)有限公司
• 主分類號: B28B3/02
• 分類號: B28B3/02
• 代理公司: 成都天嘉專利事務(wù)所(普通合伙) 51211
• 代理人: 蘇丹

本實用新型公開了一種用于制造半導(dǎo)體陶瓷片的沖片機，其特征在于包括：大氣缸、小氣缸、氣缸座、位模安裝座、位模安裝板、位模、支撐臂、沖壓底座、被沖壓片、沖床緩沖板和沖片機基座，所述沖壓底座底部設(shè)置有多個貫穿整個沖片機的支撐臂，所述支撐臂上設(shè)置有沖片機基座，所述沖壓底座上設(shè)置有用于緩沖被沖壓片沖擊的沖床緩沖板，所述支撐臂的上半部設(shè)置有氣缸座,所述氣缸座的上部設(shè)置有大氣缸，所述氣缸座的下部設(shè)置有小氣缸，所述小氣缸設(shè)置有位模安裝座，所述位模安裝座上設(shè)置有位模安裝板，所述位模安裝板上設(shè)置有位模。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于制造半導(dǎo)體陶瓷片的沖片機。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體陶瓷具有半導(dǎo)體特性、電導(dǎo)率約在10-6～105S/m的陶瓷。半導(dǎo)體陶瓷的電導(dǎo)率因外界條件（溫度、光照、電場、氣氛和溫度等）的變化而發(fā)生顯著的變化，因此可以將外界環(huán)境的物理量變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘枺瞥筛鞣N用途的敏感元件。

半導(dǎo)體陶瓷生產(chǎn)工藝的共同特點四必須經(jīng)過半導(dǎo)化過程。半導(dǎo)化過程可通過摻雜不等價離子取代部分主晶相離子(例如，BaTiO3中的Ba2+被La3+取代)，使晶格產(chǎn)生缺陷，形成施主或受主能級，以得到n型或p型的半導(dǎo)體陶瓷。另一種方法是控制燒成氣氛、燒結(jié)溫度和冷卻過程。例如氧化氣氛可以造成氧過剩，還原氣氛可以造成氧不足，這樣可使化合物的組成偏離化學(xué)計量而達到半導(dǎo)化。半導(dǎo)體陶瓷敏感材料的生產(chǎn)工藝簡單，成本低廉，體積小，用途廣泛。壓敏陶瓷，指伏安特性為非線性的陶瓷。如碳化硅、氧化鋅系陶瓷。它們的電阻率相對于電壓是可變的，在某一臨界電壓下電阻值很高，超過這一臨界電壓則電阻急劇降低。典型產(chǎn)品是氧化鋅壓敏陶瓷，主要用于浪涌吸收、高壓穩(wěn)壓、電壓電流限制和過電壓保護等方面。隨著功率電子器件的發(fā)展，電路板集成度與工作頻率不斷提高，散熱問題已成為功率電子器件發(fā)展中必須要解決的關(guān)鍵問題。陶瓷基片是大功率電子器件、集成電路基片的封裝材料，是功率電子、電子封裝與多芯片模塊等技術(shù)中的關(guān)鍵配套材料，其性能決定著模塊的散熱效率和可靠性。

低氧銅燒結(jié)DBC半導(dǎo)體熱電基片由于具有高導(dǎo)熱性、高電絕緣性、電流容量大、機械強度高、與硅芯片相匹配的溫度特性等特點，因此被廣泛應(yīng)用于航天、軍工、汽車等特殊電子行業(yè)，用來做功率芯片的絕緣與散熱。

現(xiàn)有工藝是采用Al2O3陶瓷基片與經(jīng)過氧化處理后的覆銅燒結(jié)，其中無氧銅氧化處理工藝復(fù)雜難以控制氧化的一致性，所以價格十分昂貴，無氧銅燒結(jié)DBC半導(dǎo)體熱電基片售價是低氧銅燒結(jié)DBC半導(dǎo)體熱電基片售價的5倍左右。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種用于制造半導(dǎo)體陶瓷片的沖片機。

一種用于制造半導(dǎo)體陶瓷片的沖片機，其特征在于包括：大氣缸、小氣缸、氣缸座、位模安裝座、位模安裝板、位模、支撐臂、沖壓底座、被沖壓片、沖床緩沖板和沖片機基座，所述沖壓底座底部設(shè)置有多個貫穿整個沖片機的支撐臂，所述支撐臂上設(shè)置有沖片機基座，所述沖壓底座上設(shè)置有用于緩沖被沖壓片沖擊的沖床緩沖板，所述支撐臂的上半部設(shè)置有氣缸座,所述氣缸座的上部設(shè)置有大氣缸，所述氣缸座的下部設(shè)置有小氣缸，所述小氣缸設(shè)置有位模安裝座，所述位模安裝座上設(shè)置有位模安裝板，所述位模安裝板上設(shè)置有位模。

所述大氣缸為單缸氣缸。

所述小氣缸為多缸氣缸。

所述氣缸2至少包括兩個氣缸。

所述位模為可更換式模具。

所述沖壓底座底部設(shè)置至少2個支撐臂。

附圖說明

本實用新型的前述和下文具體描述在結(jié)合以下附圖閱讀時變得更清楚，附圖中：

圖1是本實用新型體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：