[實(shí)用新型]加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821213842.5
• 申請(qǐng)日: 2018-07-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208992450U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡本典彥
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B24B37/34
• 分類(lèi)號(hào): B24B37/34;B24B37/07
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

本實(shí)用新型提供一種加工裝置，該加工裝置具有卡盤(pán)，其用于保持基板；加工臺(tái)，其保持所述卡盤(pán)；以及加工軸，所述加工軸包括：用于對(duì)基板加工的加工工具、用于驅(qū)動(dòng)加工軸的電動(dòng)機(jī)、用于保持電動(dòng)機(jī)的電動(dòng)機(jī)保持部、以及使電動(dòng)機(jī)保持部升降的升降機(jī)構(gòu)；所述加工裝置的特征在于，在所述電動(dòng)機(jī)上設(shè)置有用于將電動(dòng)機(jī)安裝到電動(dòng)機(jī)保持部時(shí)使用的吊裝部件或吊裝部件安裝部。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種加工裝置，該加工裝置對(duì)基板(例如晶圓)等被加工物進(jìn)行磨削加工。

背景技術(shù)

在制作半導(dǎo)體元件的過(guò)程中，需要利用加工裝置對(duì)作為被加工物的大致圓板形狀的晶圓進(jìn)行磨削，該加工裝置中包括其用于保持基板的卡盤(pán)、安裝有加工工具的加工軸以及用于保持所述卡盤(pán)、并使卡盤(pán)移動(dòng)的加工臺(tái)，其中，加工軸上安裝有用于磨削的加工工具、驅(qū)動(dòng)該加工工具進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)，以及保持該電動(dòng)機(jī)的電動(dòng)機(jī)保持部。

通常來(lái)說(shuō)，加工裝置中使用的電動(dòng)機(jī)重量較大，在對(duì)加工軸進(jìn)行組裝的過(guò)程中，通過(guò)人力將電動(dòng)機(jī)裝入到電動(dòng)機(jī)保持部的作業(yè)比較困難，特別是在通過(guò)人力安裝時(shí)，電動(dòng)機(jī)上缺少施力的部位，很難將電動(dòng)機(jī)提升到所需的高度。此外，也考慮采用小型的起吊設(shè)備進(jìn)行協(xié)助，但是電動(dòng)機(jī)本身并不具有固定起吊設(shè)備的部位，需要繩索對(duì)于電動(dòng)機(jī)綁定后再起吊，由此產(chǎn)生電動(dòng)機(jī)吊起時(shí)的形態(tài)不固定、不便于安裝，繩索的綁定容易脫落等問(wèn)題。

例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1的加工裝置中，加工軸上所設(shè)置的電動(dòng)機(jī)上并不具有起吊時(shí)的固定部件，因此，在將該電動(dòng)機(jī)向保持架裝入時(shí)也存在上述的不便于安裝的問(wèn)題。另外，在加工裝置中設(shè)置外框體的情況下，電動(dòng)機(jī)在安裝時(shí)需要吊起的高度更高，因此，進(jìn)一步增加了安裝的難度。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1JP特開(kāi)2014-200870A

實(shí)用新型內(nèi)容

實(shí)用新型要解決的問(wèn)題

本實(shí)用新型正是鑒于這種情況而完成的，其目的在于提供一種能夠在將重量較大的電動(dòng)機(jī)向電動(dòng)機(jī)保持部安裝時(shí)能夠便于對(duì)電動(dòng)機(jī)施力、或者說(shuō)便于起吊設(shè)備與電動(dòng)機(jī)之間進(jìn)行固定的結(jié)構(gòu)，從而解決現(xiàn)有技術(shù)中電動(dòng)機(jī)的安裝困難的問(wèn)題。

用于解決問(wèn)題的方案

本實(shí)用新型的第1技術(shù)方案的加工裝置具有卡盤(pán)，其用于保持基板；加工臺(tái)，其保持所述卡盤(pán)；以及加工軸，所述加工軸包括：用于對(duì)基板加工的加工工具、用于驅(qū)動(dòng)加工軸的電動(dòng)機(jī)、用于保持電動(dòng)機(jī)的電動(dòng)機(jī)保持部、以及使電動(dòng)機(jī)保持部升降的升降機(jī)構(gòu)；所述加工裝置的特征在于，在所述電動(dòng)機(jī)上設(shè)置有用于將電動(dòng)機(jī)安裝到電動(dòng)機(jī)保持部時(shí)使用的吊裝部件或吊裝部件安裝部。

基于第1技術(shù)方案的加工裝置，通過(guò)在電動(dòng)機(jī)上設(shè)置吊裝部件，可以利用吊裝部件對(duì)電動(dòng)機(jī)施加吊起的力，從而便于將電動(dòng)機(jī)安裝到電動(dòng)機(jī)保持部；此外，也可以在電動(dòng)機(jī)上僅設(shè)置吊裝部件安裝部，在需要對(duì)電動(dòng)機(jī)進(jìn)行吊起作業(yè)時(shí)，將吊裝部件安裝到吊裝部件安裝部上，從而利用后續(xù)安裝的吊裝部件進(jìn)行電動(dòng)機(jī)的吊起作業(yè)。

本實(shí)用新型的第2技術(shù)方案的加工裝置的特征在于：所述吊裝部件或所述吊裝部件安裝部設(shè)置在電動(dòng)機(jī)的上部。

基于第2技術(shù)方案的加工裝置，能夠盡量減少電動(dòng)機(jī)本體對(duì)于吊裝部件或起吊設(shè)備的干涉，方便進(jìn)行吊起安裝作業(yè)。

本實(shí)用新型的第3技術(shù)方案的加工裝置的特征在于：所述吊裝部件安裝部設(shè)置在電動(dòng)機(jī)的外殼體上。

基于第3技術(shù)方案的加工裝置，能夠盡量減少設(shè)置吊裝部件對(duì)于電動(dòng)機(jī)整體結(jié)構(gòu)的改變，便于吊裝部件向吊裝部件安裝部的安裝作業(yè)。

本實(shí)用新型的第4技術(shù)方案的加工裝置的特征在于：所述吊裝部件安裝部設(shè)置在固定部件上，所述固定部件設(shè)置于電動(dòng)機(jī)的外殼體上。