[實用新型]加工裝置

有效

• 申請號: 201821213842.5
• 申請日: 2018-07-27
• 公開（公告）號: CN208992450U
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發明（設計）人: 岡本典彥
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/07
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種加工裝置，其具有：卡盤，其用于保持基板；加工臺，其保持所述卡盤；以及加工軸；所述加工軸包括：用于對基板加工的加工工具、用于驅動所述加工工具的電動機、用于保持所述電動機的電動機保持部、以及使所述電動機保持部升降的升降機構；所述加工裝置的特征在于，

在所述電動機上設置有用于將所述電動機安裝到所述電動機保持部時使用的吊裝部件或吊裝部件安裝部。

2.根據權利要求1所述的加工裝置，其特征在于：

所述吊裝部件或所述吊裝部件安裝部設置在所述電動機的上部。

3.根據權利要求1或2所述的加工裝置，其特征在于：

所述吊裝部件安裝部設置在所述電動機的外殼體上。

4.根據權利要求1或2所述的加工裝置，其特征在于：

所述吊裝部件或所述吊裝部件安裝部設置在固定部件上，所述固定部件設置于所述電動機的外殼體上。

5.根據權利要求4所述的加工裝置，其特征在于：

所述吊裝部件安裝部為螺紋孔，所述固定部件為帶有螺紋孔的支架。

6.根據權利要求1或2所述的加工裝置，其特征在于：

所述吊裝部件具有把手部、或者呈環狀或鉤狀的連接部。

7.根據權利要求1或2所述的加工裝置，其特征在于：

在所述電動機的上部延伸出電動機驅動用的電源配線。

8.根據權利要求1或2所述的加工裝置，其特征在于：

所述電動機和所述電動機保持部的底部之間通過連接部件固定連接。

9.根據權利要求1或2所述的加工裝置，其特征在于：

所述吊裝部件或所述吊裝部件安裝部形成有多個，各設置位置之間的連線的中心或連線所形成的圖形的重心位于所述電動機的中心軸線。

10.根據權利要求1或2所述的加工裝置，其特征在于：

其具有多個所述加工軸和多個所述卡盤，

各所述加工軸分別具有用于調節所述電動機保持部在上下方向上平衡的平衡汽缸，

多個所述加工軸中的第1加工軸具有用于使所述電動機保持部向水平方向移動的水平方向移動機構，

多個所述加工軸中的第2加工軸與所述第1加工軸并列設置，

在所述第2加工軸中，從加工臺側朝向加工軸側依次設置有第2電動機保持部、第2升降電動機、以及第2平衡汽缸，

在所述第1加工軸中，從加工臺側朝向加工軸側依次設置有第1電動機保持部和第1升降電動機，第1平衡汽缸相對于第1升降電動機配置在所述水平方向移動機構的移動方向上。