[實用新型]半導體封裝清洗設備藥液配比裝置

有效

• 申請號: 201821213125.2
• 申請日: 2018-07-27
• 公開（公告）號: CN208642582U
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 曾志家;梁小龍;張彥平
• 申請（專利權）人: 深圳市凱爾迪光電科技有限公司
• 主分類號: B01F15/04
• 分類號: B01F15/04;B01F3/08;B01F5/00;B08B3/02
• 代理公司: 深圳市精英專利事務所 44242
• 代理人: 馮筠

1.一種半導體封裝清洗設備藥液配比裝置，其特征在于，包括水箱，水出管，連接管，原液箱和原液管，所述水箱的出水口與水出管通過設有的第一閥門連接；所述原液箱的底部通過設有第二閥門與原液管連接，所述水出管與原液管通過連接管連接。

2.根據權利要求1所述的半導體封裝清洗設備藥液配比裝置，其特征在于，所述半導體封裝清洗設備藥液配比裝置還包括第一連通管和第二連通管；第一連通管的頂部和水箱的頂部連通，底部與水箱的底部連通，所述第一連通管設有用于檢測第一連通管內液體高度的第一液位感應器；第二連通管的頂部和原液箱的頂部連通，底部與原液箱的底部連通，所述第二連通管設有用于檢測第二連通管內液體高度的第二液位感應器。

3.根據權利要求2所述的半導體封裝清洗設備藥液配比裝置，其特征在于，所述第一液位感應器與第一連通管滑動連接，所述第二液位感應器與第二連通管滑動連接。

4.根據權利要求1所述的半導體封裝清洗設備藥液配比裝置，其特征在于，所述水箱的側壁設有用于測量水箱內液體的高度的刻度尺，所述原液箱的側壁設有用于測量原液箱內液體的高度的刻度尺。

5.根據權利要求1所述的半導體封裝清洗設備藥液配比裝置，其特征在于，所述第一閥門和第一閥門分別為氣動角座閥。