[實用新型]帶有對準裝置的線寬壓窄模塊及準分子激光器

有效

• 申請號: 201821210583.0
• 申請日: 2018-07-27
• 公開（公告）號: CN208904391U
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 王倩;李少華;趙江山;周翊;吳勁松;辛茗;江銳;楊軍紅
• 申請（專利權）人: 北京科益虹源光電技術有限公司
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00;G02B7/00;G02B27/42;G02B27/09
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛良

本實用新型公開了一種帶有對準裝置的線寬壓窄模塊，包括棱鏡組，用于將放電腔熒光進行反射，產生反射熒光；光電二極管，用于接收所述反射熒光，并對反射熒光進行響應；光示波器，與所述光電二極管連接，用于觀測光電二極管信號強度；角度調節裝置，用于調節所述線寬壓窄模塊的角度，當所述光電二極管信號強度最強時，完成所述線寬壓窄模塊與所述放電腔的對準。此外，還提供一種準分子激光器。本實用新型解決了線寬壓窄模塊與腔體對準的問題，通過該對準裝置，可實現線寬壓窄模塊的快速安裝與更換，在保證光譜輸出特性的條件下實現最大能量輸出。

技術領域

本實用新型涉及激光技術領域，特別涉及一種帶有對準裝置的線寬壓窄模塊及準分子激光器。

背景技術

線寬壓窄模塊是光刻用準分子激光器重要的組成部分。通過與放電腔的配合，線寬壓窄模塊可實現光譜窄化、中心波長調諧等功能，通過亞皮米線寬保證半導體硅片芯片圖案的精細度。

棱鏡組1配合光柵2的方法是目前使用較廣的光譜控制方法。圖1是準分子激光系統線寬壓窄模塊基本結構示意圖，主要包含棱鏡組1及光柵2。棱鏡組1對到達光柵2之前的光束進行一維的擴束、準直，降低腔內光束能量密度，同時有利于光譜的選擇和控制。

線寬壓窄模塊中的棱鏡及光柵都屬于腔內損耗元件。以四棱鏡系統為例，每個棱鏡通光面鍍增透膜，能量透過率為98％，光柵衍射效率～50％，那么線寬壓窄模塊對激光能量的透過率為42％。由此可見，線寬壓窄模塊在實現線寬窄化的同時，也損失較多的激光能量。

線寬壓窄模塊與放電腔之間良好的對準措施及裝置可以在保證線寬的同時最大程度提升激光輸出能量，同時提高模塊安裝與更換速度，有利于實現產品模塊化安裝與維護。

實用新型內容

本實用新型旨在克服現有技術存在的缺陷，本實用新型采用以下技術方案：

一方面，本實用新型實施例提供了一種帶有對準裝置的線寬壓窄模塊，包括：

棱鏡組，用于將放電腔熒光進行反射，產生反射熒光；

光電二極管，用于接收所述反射熒光，并對反射熒光進行響應；

光示波器，與所述光電二極管連接，用于觀測光電二極管信號強度；

角度調節裝置，用于調節所述線寬壓窄模塊的角度，當所述光電二極管信號強度最強時，完成所述線寬壓窄模塊與所述放電腔的對準。

一些實施例中，還包括光柵，所述光柵與所述棱鏡組配合進行準分子激光器光譜的控制及選擇。

在一些實施例中，在所述線寬壓窄模塊的前端及所述輸出耦合鏡后端設置有狹縫，所述狹縫用于對光束的發散角進行壓制。

在一些實施例中，所述線寬壓窄模塊包括標準具，所述標準具置于所述棱鏡組和所述光柵之間，用于對光束進行光譜控制。

另一方面，本實用新型實施例還提供了一種用于激光器。所述激光器包括如前所述的帶有對準裝置的線寬壓窄模塊。

本實用新型的技術效果：本實用新型解決了線寬壓窄模塊與腔體對準的問題，通過該對準裝置，可實現線寬壓窄模塊的快速安裝與更換，在保證光譜輸出特性的條件下實現最大能量輸出。

附圖說明

圖1為現有準分子激光系統線寬壓窄模塊基本結構示意圖。

圖2為本實用新型提出的帶有對準裝置的線寬壓窄模塊的準分子激光器示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及具體實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本實用新型，而不構成對本實用新型的限制。