[實用新型]帶有對準裝置的線寬壓窄模塊及準分子激光器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821210583.0 | 申請日： | 2018-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN208904391U | 公開（公告）日： | 2019-05-24 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王倩;李少華;趙江山;周翊;吳勁松;辛茗;江銳;楊軍紅 | 申請（專利權）人： | 北京科益虹源光電技術有限公司 |
| 主分類號： | H01S3/00 | 分類號： | H01S3/00;G02B7/00;G02B27/42;G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市科進知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹衛(wèi)良 |
| 地址： | 100000 北京市大興區(qū)經(jīng)濟*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 線寬 熒光 反射 對準裝置 光電二極管信號 準分子激光器 本實用新型 光電二極管 放電腔 對準 角度調(diào)節(jié)裝置 光譜輸出 光示波器 快速安裝 最大能量 棱鏡組 腔體 觀測 輸出 響應 保證 | ||
【權利要求書】：
1.一種帶有對準裝置的線寬壓窄模塊，其特征在于，包括：
棱鏡組，用于將放電腔熒光進行反射，產(chǎn)生反射熒光；
光電二極管，用于接收所述反射熒光，并對反射熒光進行響應；
光示波器，與所述光電二極管連接，用于觀測光電二極管信號強度；
角度調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)所述線寬壓窄模塊的角度，當所述光電二極管信號強度最強時，完成所述線寬壓窄模塊與所述放電腔的對準。
2.根據(jù)權利要求1所述的帶有對準裝置的線寬壓窄模塊，其特征在于，還包括光柵，所述光柵與所述棱鏡組配合進行準分子激光器光譜的控制及選擇。
3.根據(jù)權利要求1所述的帶有對準裝置的線寬壓窄模塊，其特征在于，所述線寬壓窄模塊的前端設置輸出耦合鏡，在所述線寬壓窄模塊的前端及所述輸出耦合鏡后端設置有狹縫，所述狹縫用于對光束的發(fā)散角進行壓制。
4.根據(jù)權利要求2所述的帶有對準裝置的線寬壓窄模塊，其特征在于，所述線寬壓窄模塊包括標準具，所述標準具置于所述棱鏡組和所述光柵之間，用于對光束進行光譜控制。
5.一種準分子激光器，其特征在于，包括如權利要求1-4任一項所述的線寬壓窄模塊。
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